大日本スクリーン製造は5月7日、2014年3月期の売上高が前年比18.1%増の2359億4600万円になったと発表した。当期利益は54億1800万円となり、前年の113億3300万円の損失から黒字に転換した。事業別売上高では、半導体機器が同16.0%増の1631億3200万円。メモリメーカーやファンドリーの投資拡大により枚葉式洗浄装置、コータ&デベロッパの売上が増加した。FPD機器の売上高は同64.8%増の198億4900万円。
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国内/アジア向けの中小型LCD用製造装置、中国向けの大型LCD用製造装置の売上がともに増加した。この他、メディアアンドプレシジョンテクノロジーが 同12.6%増の521億5600万円となった。2015年3月期の全社売上高は2360億円、当期利益は75億円を見込んでいる。