2015NovAKT米Applied Materials社(AMAT)は、薄型・軽量で曲げられるフレキシブル有機ELディスプレーの量産を可能にする製造装置を開発した。
有機ELを酸素や水分から保護するための封止膜を成膜するプラズマCVD装置である。現在は硬くて厚いガラスを封止に使うのが一般的だが、このガラスを薄膜に置き換えることで、柔らかくて曲げられる有機ELディスプレーが量産可能になるという。



 AMAT社は今回、2つの成膜装置をラインアップした。1つは、スマートフォンをはじめとするモバイル端末向けの有機ELディスプレーを対象と した「Applied AKT-20K」である。対応する基板サイズは925mm×1500mm。もう1つは、大型テレビ向けの有機ELディスプレーを対象とした 「Applied AKT-40K」。対応する基板サイズは1250mm×2200mmである。

 製造工程中の有機ELの劣化を抑えるた めに、今回の装置では、封止膜を100℃以下の低温で成膜できるようにしたとする。また、高価な露光機とエッチング装置が必要なフォトグラフィー工程を用 いなくても、高い位置精度で封止膜を形成できるようにした。独自の画像処理技術によって、マスクの位置決めと成膜の精度を向上し、実現したという。この結 果、フォトグラフィーを利用する場合に比べて、製造コストを大幅に削減できるとしている。