ディスプレー製造技術関連の展示会「第26回ファインテック ジャパン」が東京ビックサイトで4月6日から8日の3日間にわたって開催された。「Photonix 2016」(光レーザー技術展)や「高機能フィルム展」なども同時開催された。米Apple社の「iPhone」にフレキシブル有機ELディスプレーが採用されるとのことで、関連企業の動きは活発になっている。
現在実用化されているモバイル用フレキシブル有機ELディスプレーの駆動TFTには、LTPSが用いられている。LTPSの製造方法については、エキシマ・レーザー・アニール(ELA:Excimer Laser Annealing)装置を用いて、アモルファスSi(a-Si)膜からLTPS膜を作製する方法が広く用いられている。


エキシマ・レーザー・アニール工程に起因するパネルのムラは、従来はパネルメーカーの経験に基づいて目視検査していたが、現在は定量的かつ客観的な評価をすることを目的としてムラモニターを搭載している。図5に示すように、ラインカメラタイプのモニターが開発されており、300mm幅を同時計測することが可能である。
常に、量産に用いないエキシマ・レーザー・アニール装置をスタンバイ状態とする必要があった。それから、20年近くの年月がたち、大型ガラス基板対応、安定性、レーザー寿命のすべてにおいて目を見張る進展を感じた。
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