ここでは、a-IGZOのウエットエッチング液について紹介する。関東化学が展示していたエッチング液である。図1に、ボトムゲート型TFTの製造プロセスを示す。当初、エッチ・ストップ・レイヤー(ESL)型が多く採用されていたが、最近はマスク枚数削減の観点からエッチ・ストップ・レイヤーを持たないバック・チャネル・エッチ(BCE)型に移行している。


a-IGZOのエッチングは、多くの種類の酸に溶解するため、他のメタルエッチング液でもエッチングは可能である。また、金属酸化物であるa-ITOのエッチング液では特に良好にエッチングできる。
このように、開発したIGZOエッチング液は以下の特徴を持つ。
・サイドエッチングが少なく、面内均一性やエッチング形状が良好
・エッチング残渣がない
・液としての寿命が長く、コスト削減が可能
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