「有機ELや4K(UHD)液晶といった新型パネルの製造歩留まりを迅速に向上させ、短期間での市場投入を可能にする」。米Applied Materials(AMAT)社がこうアピールする新型検査装置について、「Display Innovation CHINA 2016/Beijing Summit」(2016年11月1~2日、中国・北京)で講演した。
同社AKT Display Business Group, Yield Technology Group GMのPeter Nunan氏が発表した。

同社によると、有機ELや4K液晶といった先進的なディスプレーでは求められる工程が増えるため、それに伴い汚染物質は増加・微細化し、新種の欠陥が増えている。こうした欠陥の検査にはインライン自動光学欠陥検査装置が使われているが、キラー欠陥(重大な欠陥)の判別や、欠陥の根本原因を特定する能力は乏しかったという。
 一方、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて分析すればキラー欠陥の判別や根本原因の特定は可能だが、ガラス基板を破砕し、断片を一つひとつ顕微鏡で観察する必要があった。従って、時間とコストが掛かる上、仮に欠陥が見つかってもそれが元のパネルのどの部分にあったかを判断するのはほぼ不可能だったという。

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