img1_file5a0c244c98fd1SCREENホールディングスは15日、第6世代基板に対応した有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)パネル製造用の塗布現像装置2機種を発売したと発表した。微小なゴミの混入による歩留まり悪化を防止する機能を付けた。

 2機種は縦横の大きさが1500ミリ×1850ミリメートルの同基板に対応する。有機ELバックプレーン(駆動回路)製造工程用の「SK―E1500G」は、基板搬送工程の搬送口の仕切りを工夫し、微小なゴミの混入を防ぐ。これにより薄膜トランジスタ(TFT)を作り込んだ基板の歩留まりを向上させる。



タッチセンサーパネル(TSP)製造工程用の「SK―E1500H」は独自の基板搬送技術により、第6世代のハーフ基板の2枚同時処理を可能にしたのが特徴。それぞれの価格は7億―8億円(消費税抜き)。

生産・販売は事業会社のSCREENファインテックソリューションズ(京都市上京区)が行う。2020年末までに2機種合計で100台の販売を見込む。