img1_file5dc14ec566497東京エレクトロンは、200ppiを超える有機ELディスプレー解像度に対応した開発ライン向けインクジェット描画装置「エリウス500プロ=写真」を発売した。最大370ミリ×470ミリメートルの第2世代(G2)基板に対応。8Kテレビや65インチテレビ、ノートパソコンのディスプレーなどの開発部門での採用を見込む。価格は個別見積もり。

従来機種「エリウス1000」の2倍となる、最大12種類のインク材料を同時に搭載できる。有機発光層の成膜時に、RGB3色の発光材料を同時かつ必要量のみを画素内へ描画する。



発光材料はエリウス1000と同じ。ppiは1インチ当たりの画素数。

同社は、有機ELディスプレー製造向けインクジェット描画装置事業に2014年に参入。18年に最大730ミリ×920ミリメートルのG4・5基板に対応したエリウス1000を発売した。製造コストが抑えられるため、インクジェット方式による有機ELディスプレー製造装置の開発がディスプレー市場で激化している。