Nikon 261438151-p1株式会社ニコン(社長:馬立 稔和、東京都港区)は、中小型パネル対応のFPD露光装置「FX-6AS」を発売します。「FX-6AS」は、スマートデバイスに代表される、最先端の高機能モバイル機器に用いられる高精細有機ELパネルや液晶パネル製造に最適な露光装置です。

新開発の投影レンズを搭載し、高解像度、高精度アライメント、高スループットを実現。また、光源波長には従来モデルと同じi線を採用しているため、現行の製造プロセスを踏襲したまま、高精細パネルの量産が可能です。





スマートデバイスや、VR、AR機器などに用いられるディスプレイは、高精細化とともに、薄型化やフレキシブル化などの高機能化が進んでいます。特に、低消費電力化や高精細化を実現するLTPO技術※が注目されており、この技術には、パネルの回路パターンをより細く、線幅を均一にすることが非常に重要です。

 ニコンは、これらのニーズに対応するため、中小型パネルのさらなる高精細化および高機能化を実現する、第6世代プレートサイズ対応のFPD露光装置「FX-6AS」を開発しました。

 LTPO: Low Temperature Polycrystalline Oxideの略。LTPO技術によりディスプレイの更新頻度を最適化できるため、有機ELパネルや液晶パネルにおける高精細かつ消費電力の削減が可能。

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