次世代ディスプレイ検査装置「特儀科技」が資金調達、中国初のマイクロ有機EL自動検査ラインを実現

半導体ディスプレイの自動検査装置を製造する「特儀科技（TEYI Technology）」が、シリーズBで資金調達したと発表した。リードインベスターは「中電中金（CLP Zhongjin）」で、「浙商創投（Zheshang Venture Capital）」と「新俊逸資本」も出資に加わった。調達した資金はミニ LEDやマイクロ LED、半導体の検査装置開発に充てられる。

特儀科技はディスプレイ向け自動検査装置の研究開発や設計、製造、販売に注力しており、製品は液晶ディスプレイ（LCD）や有機EL（OLED）のほか、次世代ディスプレイと目されるマイクロLEDやミニLED、マイクロ有機EL、TFT液晶の製造に広く使用されている。有機EL検査装置は中国の大手パネル製造工場が導入しており、3C製品（コンピューター、通信機器、家電）や半導体の一流ブランドを間接的に支えている。

ブイテクノロジー、半導体・ディスプレー向けマスク修正装置

ディスプレー製造装置のブイ・テクノロジーは半導体やディスプレーの回路形成に使うフォトマスク（回路原版）の新型修正装置で初めて受注を獲得したと発表した。高い位置精度でフォトマスク上の細かい欠陥を修正したり、回路パターンを描画したりできる。同社の検査装置や測定装置と組み合わせることで、半導体やディスプレー製品の品質を担保できる。

受注を獲得したのは集束イオンビームフォトマスク修正装置「Draco」で、4月以降の出荷を見込む。同装置は半導体や中小型の有機ELディスプレー、液晶ディスプレー向けのフォトマスクを修正するものだ。

東陽テクニカ、液晶物性評価システムの販売を開始

東陽テクニカは2022年1月、液晶パネルの不良検出や液晶材料の評価を、高い精度で効率的に行える液晶物性評価システム「LCE-X」シリーズを開発、2022年1月14日から全世界で販売すると発表した。

同社はこれまで、液晶パネルおよび液晶材料を評価するための測定機器として、電圧保持率測定システム「VHR型」や液晶物性評価システム「6254型」、TFT-LCD評価システム「LCM-3型」などを開発し販売してきた。LCE-Xシリーズは、これらのシステムを統合した製品となる。

次世代ディスプレイの性能検査を無人化へ 中国新興が全自動検査設備を開発

次世代ディスプレイの検査設備を生産する「特儀科技（TEYI Technology）」がシリーズA＋で1億元（約17億円）規模の資金を調達した。国家中小企業発展基金（China SME Development Fund）が出資を主導し、合肥芯屏基金やアモイ市の科学技術局などが出資に加わった。調達した資金は次世代ディスプレイや半導体設備の研究開発、新工場における生産規模の拡大に充て、業界内での優位性をさらに高めていくとしている。

同社は主に液晶（LCD）、有機EL（OLED）、マイクロ有機EL、ミニLED、マイクロLEDパネルの光学検査設備の開発と販売を行っており、ディスプレイの製造過程における外観、スクリーン、パラメーター、光学性能、信頼性などの検査を行う製品を提供している。

性能検査はディスプレイ製造に関わる全プロセスをカバーしており、検査作業は無人化を実現した。最新のマイクロ有機EL検査設備はディスプレイ製造大手「BOE（京東方）」など複数の企業が導入しているほか、ミニLED、有機EL、液晶パネルの検査設備も国内大手企業で利用されている。

比企光学、光学ガラス用自動装置を導入 ＡＩで外観検査

比企光学（埼玉県小川町）は、人工知能（ＡＩ）による自動外観検査装置を導入した。光学ガラスのキズや欠陥、亀裂など不良の検出を完全自動化するのが最終目標。現在、グループ会社の比企オプティクス（埼玉県秩父市）のガラス製品製造工程で、検査と平行して学習作業を実施。１―２年内にも検査作業をすべてＡＩに任せる意向だ。

約８００万円を投資し、ＡＩ搭載コンピューター、高解像度カメラ、ロボットアーム、照明などを導入し、検査システムを組み上げた。

浜松ホトニクス、マイクロＬＥＤ高速検査装置 10平方センチメートルを20分で

浜松ホトニクスは次世代ディスプレーとして期待されるマイクロＬＥＤ（発光ダイオード）の外観、輝度、発光波長の異常を高速で検査できる装置「ＭｉＮＹ（マイニー）ＰＬ　マイクロＬＥＤ　ＰＬ検査装置Ｃ１５７４０―０１」を発売した。消費税抜きの価格は１億円。国内外のＬＥＤやディスプレーメーカー向けに初年度５台の販売を目指す。

光をマイクロＬＥＤに当ててエネルギーを与え、元の状態に戻る際の発光をイメージングするフォトルミネッセンス（ＰＬ）計測法を用いて輝度や発光波長の異常を検査。可視光を当て外観異常を検査する。ＰＬで得た画像と可視光で得た画像を組み合わせて良・不良を判定する。

機能性フィルムの表面ひずみを高い精度で定量計測

東京工業大学科学技術創成研究院化学生命科学研究所の宍戸厚教授と大学院生の田口諒氏は2021年3月、東京大学大学院新領域創成科学研究科の竹谷純一教授らの研究グループと、機能性フィルムの表面ひずみを高い精度で計測できる手法「表面ラベルグレーティング法」を開発したと発表した。定量的な計測が可能となり、曲げても壊れにくいフレキシブル電子デバイスの開発が比較的容易となる。

　スマートフォンやタブレット端末など、折りたたみ可能なデバイスには、フィルム上にICや導電体材料を積み重ねたフレキシブル電子デバイスが用いられる。ところが、使用中に導電材料の限界を超える曲げが生じると、フィルム表面が大きくひずんで、デバイスが破損する可能性があった。

コニカミノルタ、60％時短の分光測色計 色と光沢を同時測定

コニカミノルタは、色と光沢を同時に測定できる卓上型分光測色計「ＣＭ―３６ｄＧ」を２月に発売する。従来、別々に提供してきた測色計と光沢計の機能を一体化。測定時間を約６０％短縮したほか、色と光沢の測定結果をソフトウエアで一括管理できるようにした。主な販売対象となる塗料やプラスチック、布地など材料サプライヤーの調色や品質管理の作業効率向上が期待できる。２０２５年度に数千台の販売を目指す。

新製品は、卓上型分光測色計の主力シリーズで２４年ぶりの全面改良となる。従来は卓上型の測色計とハンディータイプの光沢計のそれぞれで色と光沢を測定する必要があったが、新製品は色と光沢の同時測定が可能。対象物を各計測器に付け替える手間が省けるため、１回当たりの測定時間を十数秒から約４秒に短縮できる。従来、別々のソフトで管理していた色と光沢の測定結果も、一つのソフトで管理できる。

片岡製作所がＡＩで液晶修復装置 平成３１年に市場投入

レーザー加工機メーカー、片岡製作所（京都市南区）は、液晶の生産工程で生じる不具合を人工知能（ＡＩ）を駆使して修復する装置を開発、平成３１年に市場投入することを明らかにした。３２（２０２０）年の株式上場を目指しており、新製品投入で弾みを付ける。片岡宏二社長に新製品への思いや今後の目標などを聞いた。

　－－装置開発のきっかけは

　「ｉＰＳ細胞（人工多能性幹細胞）の培養時に不要な細胞を除去する装置を作っており、その応用だ。液晶は、生産工程でのごみ混入などにより一部の画素が消灯できない不具合が発生する。これまでは人の目で診断していたが、新製品は液晶の状態をＡＩで読み取り短時間でレーザーで修復する」

薄膜トランジスタアレイの検査技術を大幅に高速・大面積化

・薄膜トランジスタ（TFT）アレイの駆動状態を光学イメージ化して非破壊で一括検査する技術を大幅に改良
・ディスプレーなど情報出力機器のTFTとストレージキャパシター 30,000素子を3分以内に一括検査
・印刷法で製造した大面積デバイスのインライン検査を可能にし、高品質化に貢献

国立研究開発法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】（以下「産総研」という）フレキシブルエレクトロニクス研究センター【研究センター長 鎌田 俊英】 フレキシブル材料基盤チーム 堤 潤也 主任研究員、同研究センター 長谷川 達生 総括研究主幹らは、産総研が独自に開発した薄膜トランジスタ（TFT）アレイ一括検査技術の測定感度と検査面積を大幅に向上させるとともに、本技術を応用したストレージキャパシターの検査を可能にした。