アルバック、LED向けMOCVD装置を紹介

アルバックは、SIEMICON Japan 2012（12月5日～7日開催）において、LED向けMOCVD装置「MCG-465」をパネル展示した。同社としては初のMOCVD装置で、「競合より安価に提供できる装置」という。現在、信頼性テストなどの詰めの段階に入っており、「2013年2月に正式に販売する予定なので、詳細は明かせない」（同）としている。装置の概略としては、2インチ×72枚、4インチ×18枚、6インチ×6枚、8インチ×4枚に対応可能な大型リアクタを採用。Patterned Sapphire Substrate（PSS）へのGaN薄膜形成にも優れた特性を出せるとしている。