東京エレクトロン（TEL）は12月19日、100％子会社である東京エレクトロン技術研究所（TDI）と東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ（TELST）を吸収合併すると発表した。このうちTDIについては、RLSA技術を利用した製品開発の加速・早期の事業化を目的に設立されたが、RLSA※エッチャの開発・製造は東京エレクトロン宮城に移管され、その他の装置の開発はコーポレート開発部門に取り込むことが最適と判断されたという。効力発生日は2013年4月1日。

※RLSAとは
衛星放送用に開発されたアンテナを半導体製造用途に応用したもの。Tactras® RLSA™ Etchは、マイクロ波励起プラズマを生成する際にRLSA技術を使用し、プラズマの安定性、均一性を実現した。 



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