神戸製鋼、有機ＥＬの劣化防ぐ成膜装置を商品化

神戸製鋼所は有機エレクトロ・ルミネッセンス（ＥＬ）製品の性能劣化を防ぐ成膜装置を商品化した。ソーラーパネルや電子ぺーパー用の装置に比べて１００倍超の高い封止性を持ち、ロール上で連続処理することで生産性も高い。有機ＥＬ向けで同様構造の商品は世界でも初という。照明やテレビなど有機ＥＬ製品の実用化が２０１５年ごろに控えており、装置・部材メーカーなどに採用を働きかける。

　商品化した成膜装置「Ｗ６０Ｃシリーズ」は、国内成膜メーカー数社から先行受注した。価格は５億―６億円程度。１５年度に年商２０億円、２０年度に同５０億円を目指す。

　同装置は化学気相成長（ＣＶＤ）を採用したロールコータ（ロール・ツー・ロール成膜装置）で、有機ＥＬ素子部を保護するハイバリアー膜をフィルム基板上に成膜する。ロール上で連続して均一に膜付けし、複数のＣＶＤ機構を連携させることで、全体の成膜処理速度を高めた。