January 17, 2014
450mm大口径化最新動向---ここもガラパゴス化?、半導体の話ですが...
今や“日本だけがカヤの外”という危機的状況です。半導体ウェーハの450mm大口径化に関する海外ニュースは、日本ではマスコミでもほとんど取り上げられず、ガラパゴス化しています。
米国では、Intelが450mm Compatible ファブに加えて450mm専用ファブをオレゴンに建設中で、2015年に世界初の試作生産開始を目指しています。
米・台・韓の大手半導体メーカー5社とニューヨーク州による450mm化推進コンソーシアム「Global 450 Consortium(G450C)」には、450mm製造装置が続々と納入されており、そのクリーンルーム・ファシリティを担当する業者はコンソーシアム「Facilities 450Consortium(F450C)」を結成し、協業しています。
米国では、Intelが450mm Compatible ファブに加えて450mm専用ファブをオレゴンに建設中で、2015年に世界初の試作生産開始を目指しています。
米・台・韓の大手半導体メーカー5社とニューヨーク州による450mm化推進コンソーシアム「Global 450 Consortium(G450C)」には、450mm製造装置が続々と納入されており、そのクリーンルーム・ファシリティを担当する業者はコンソーシアム「Facilities 450Consortium(F450C)」を結成し、協業しています。
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欧州では、世界半導体市場における欧州勢のシェアを2020年までに20%に倍増させる欧州連合の10/100/20戦略が始動しています。装置・部材産業や450mmR&Dパイロットラインなどのインフラを整備して最終的に450mmファブを欧州に誘致する作戦です。450mmに関するアジア(台湾・韓国)の要望を聞き、450mmファブを欧州に誘致するEC支援プロジェクトも2013年11月に発足。ベルギーimecの450mmパイロットライン建設も間もなく起工します。これが竣工すると、imecが欧州における450mm装置評価・プロセス開発の拠点となります。
450mm化で最大のボトルネックと言われる450mm露光装置は、蘭ASMLとニコンが競って2015/16年に試作用、2017/18年には量産用装置を出荷することを、IntelやG450Cに約束しています。多くの日本人がうかうかしているうちに、450mm時代はもうそこまで来ています。
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