TEL、OLED製造用インクジェット描画装置の受注を開始

東京エレクトロン（TEL）はセイコーエプソンと共同開発した有機EL（OLED）製造用インクジェット描画装置「Elius 2500」の受注を開始したと発表した。
大型TV用パネルの有機発光層の成膜には蒸着方式が用いられているが、Elius 2500はインクジェット方式により、大気中で大型ガラス基板に有機材料を必要量のみ吐出することで成膜できる。これにより、TVの大型化やコスト低減が可能になるという。

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