Schott、640mm幅のロール状フレキシブル超薄板ガラスなどを紹介

 独Schottは4月15日、第24回ファインテック ジャパン（4月16日～18日開催）にて展示する640mm幅のロール状のフレキシブル超薄板ガラス、およびガラスセラミック「NEXTREMA」を報道陣に紹介した。
超薄板ガラスのラインナップはホウケイ酸ガラスの「D263」と無アルカリガラスの「AF32eco」があり、それぞれ25～100μm厚まで揃えている。今回、従来の500mmから640mmに広げたことで、ディスプレイの大型化に加え、イメージセンサ用カバーガラス向けに300mmウェーハ2枚分の取れ数効率を実現した。

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また、独自のホウケイ酸ガラスフレキシブルガラスは化学強化にも対応することから、プロセス中の基板割れが課題であるフレキシブルガラスにおいて用途拡大を目指すという。NEXTREMAはFPD用アニール炉の内壁に採用されている。950℃の耐熱温度、極低熱膨張性能を有し、プロセスの急激な温度上昇・下降に対応するため、コスト低 減に繋がる。低温Poly-Si TFT-LCD用装置向けに需要が拡大中という。