April 14, 2015
アルバック、独ロバート・ボッシュとＰＺＴ圧電素子デバイスの量産技術開発で合意
アルバックは、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を使った圧電素子デバイスの量産技術確立に向けた共同開発を行うことで、独ロバート・ボッシュと基本合意した。微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）技術を応用し、小型化や高機能化を実現するセンサーやアクチュエーターの量産技術を確立する。
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アルバックは、５００度Ｃ以下の低温でＰＺＴ膜をＭＥＭＳに形成できるスパッタリング装置「ＳＭＥ―２００」を３月に開発した。同装置をボッシュの独工場に導入し、共同開発に着手する。
車のＩＴ化やモノのインターネット（ＩｏＴ）の普及拡大に伴って、圧電ＭＥＭＳのさらなる小型化や高機能化が求められている。
車のＩＴ化やモノのインターネット（ＩｏＴ）の普及拡大に伴って、圧電ＭＥＭＳのさらなる小型化や高機能化が求められている。
