アサヒ電子研究所(大阪市中央区、和倉慎治社長)は、ガラスに近い防湿性能を持つガスバリアフィルムを開発した。試作用の製造装置も開発した。ガラスの代わりに折り曲げ可能なフィルムを基板に使う有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)ディスプレーの劣化を防ぐ新材料として、パネルメーカーなどに提案する。
ポリエチレンテレフタレート(PET)などの樹脂フィルム上に触媒化学気相成長法(CAT―CVD)で、酸素やフッ素を含むシリコン系化合物の薄膜を3層重ねて、厚さ0・5マイクロメートル(マイクロは100万分の1)以下の透明薄膜を形成する。薄膜の防湿性能を示す水蒸気透過量は1日・1平方メートル当たり0・00005グラム以下で、液晶基板用ガスバリア膜の2000分の1程度とした。
ポリエチレンテレフタレート(PET)などの樹脂フィルム上に触媒化学気相成長法(CAT―CVD)で、酸素やフッ素を含むシリコン系化合物の薄膜を3層重ねて、厚さ0・5マイクロメートル(マイクロは100万分の1)以下の透明薄膜を形成する。薄膜の防湿性能を示す水蒸気透過量は1日・1平方メートル当たり0・00005グラム以下で、液晶基板用ガスバリア膜の2000分の1程度とした。
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