半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン（栃木県小山市）は、大型液晶パネルの製造向け新型ＫｒＦ（フッ化クリプトン）エキシマレーザーの開発に成功したと発表した。
新型レーザーは、半導体リソグラフィー用エキシマレーザーを応用した「ギガネックス（ＧＩＧＡＮＥＸ）シリーズ」の１つで、液晶パネル製造のアニール工程に使用される。６００Ｗの高出力で、大型パネルの高画質化という需要に応えていく。来夏に量産機の出荷を目指す。