・薄膜トランジスタ(TFT)アレイの駆動状態を光学イメージ化して非破壊で一括検査する技術を大幅に改良
・ディスプレーなど情報出力機器のTFTとストレージキャパシター 30,000素子を3分以内に一括検査
・印刷法で製造した大面積デバイスのインライン検査を可能にし、高品質化に貢献
国立研究開発法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】(以下「産総研」という)フレキシブルエレクトロニクス研究センター【研究センター長 鎌田 俊英】 フレキシブル材料基盤チーム 堤 潤也 主任研究員、同研究センター 長谷川 達生 総括研究主幹らは、産総研が独自に開発した薄膜トランジスタ(TFT)アレイ一括検査技術の測定感度と検査面積を大幅に向上させるとともに、本技術を応用したストレージキャパシターの検査を可能にした。


 大面積化・省エネルギー化が可能な印刷法は、ディスプレーやタッチパネルなどの情報入出力機器の製造技術として期待されている。しかし、数百万個のTFTとストレージキャパシターがアレイ状に配置された情報入出力機器の駆動回路(アクティブバックプレーン)を短時間で検査することは難しく、高生産効率と高品質を両立させる上での大きな課題となっていた。
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