October 23, 2018
東エレク、有機ＥＬディスプレー製造装置 インクジェット式採用
東京エレクトロンは、インクジェット方式を採用した有機ＥＬディスプレー製造装置「Ｅｌｉｕｓ（エリウス）１０００＝写真」を発売した。ディスプレーの光る膜を作る際、ＲＧＢ（赤、緑、青）３色の発光材料を同時に必要な量だけ画素内へ描画できる。蒸着方式を使う従来機に比べて生産性を向上した。
有機ＥＬディスプレーはスマートフォンなどのモバイル市場に加えて、テレビやモニターなどのディスプレー市場にも用途が広がっているという。
市場の拡大に対応するため、大きさが最大７３０ミリ×９２０ミリメートルの基板の作成に使う装置を投入した。従来機に比べて２倍となる最大６種類のインク材料を同時搭載できるため、ディスプレーの開発にも適している。６種類のインク材料を同時搭載できる装置は珍しいという。
