日本が輸出規制したフッ化水素、SKマテリアルズが量産開始

SKグループの素材子会社、SKマテリアルズは17日、超高純度（純度99.999％）のフッ化水素（HF）ガスの量産を開始したと発表した。超高純度フッ化水素は半導体生産時の必須素材だが、韓国企業が量産に入るのは初めてだ。超高純度フッ化水素はフォトレジスト、フッ化ポリイミドと共に昨年7月、日本が韓国への輸出を規制した3品目に含まれる。

　SKマテリアルズは昨年末、超高純度フッ化水素ガスの新製品開発に成功し、慶尚北道栄州工場に15トン規模の生産設備を設置した。