浜松ホトニクスは次世代ディスプレーとして期待されるマイクロLED(発光ダイオード)の外観、輝度、発光波長の異常を高速で検査できる装置「MiNY(マイニー)PL マイクロLED PL検査装置C15740―01」を発売した。消費税抜きの価格は1億円。国内外のLEDやディスプレーメーカー向けに初年度5台の販売を目指す。

光をマイクロLEDに当ててエネルギーを与え、元の状態に戻る際の発光をイメージングするフォトルミネッセンス(PL)計測法を用いて輝度や発光波長の異常を検査。可視光を当て外観異常を検査する。PLで得た画像と可視光で得た画像を組み合わせて良・不良を判定する。





10センチ×10センチメートルの範囲を約20分で計測可能。非接触、非破壊でマイクロLEDの効率的な全数検査が可能になる。

通常のLEDは一つひとつ針を当てて通電させ、光らせることで検査をしていた。ただ、マイクロLEDは1枚のウエハーに数百万個も形成されるため検査が難しい。

マイクロLEDは液晶や有機ELなどの従来のディスプレーと比べ高輝度、低消費電力、長寿命といった長所がある。次世代ディスプレーとして市場拡大が見込まれる。

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