半導体製造装置大手の東京エレクトロンは、スマートフォンなどに搭載する高精細ディスプレーのエッチング装置を新たに発売する。有機ELパネルのガラス基板を均一に処理できる手法を採用し、回路パターンを高密度に形成できる。

有機ELパネルの高精細化や低消費電力化、高機能化などに役立つ見込みだ。 新製品の「Impressio 1800 PICP Pro」と「Betelex 1800 PICP Pro」は、「第6世代」（1500ミリメートル×1850ミリ）と呼ばれる中小型パネル向け基板に対応したプラズマエッチング装置だ。





大きな基板サイズにも対応できるほか、それぞれ基板を処理する容器数も異なる。 東京エレクトロンは高密度プラズマ源を独自に開発し、高精度にエッチングできるように処理精度も高めた。製品の歩留まりに悪影響を及ぼす微細なちりや異物などの発生を抑制でき、生産性を高められる。

顧客のパネルメーカーと販売に向けた検討を進めており、早ければ2021年中にも納入できる見込みだ。 スマホのディスプレーは指紋認証機能など、今後も技術の進化が期待されている。

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