JSR子会社のInpria、Lam Researchを金属酸化物レジスト特許侵害で提訴

JSRが2021年10月に買収して100％子会社とした米国のEUVリソグラフィ用金属酸化物フォトレジストメーカーのInpriaは10月14日(米国時間)、ドライレジスト技術を開発したLam ResearchがInpriaの特許取得済み金属酸化物フォトレジスト技術を無断で使用したとして、米国デラウェア州連邦地方裁判所に特許侵害訴訟を提起したと発表した。

訴状では、3つの特許を主張し、損害賠償と侵害しているドライレジスト技術の製造、販売、使用、または流通をLam Researchが禁止する差し止め命令を求めている。

従来フォトレジストは、レジスト液をウェハ上にスピンコートする、いわばウェットプロセスだったのに対して、ドライレジスト技術は、フォトレジストの薄膜をウェハ上に成膜するのでドライレジストの使用量もレジスト液と比較して、1/5～1/10に減らすことができ生産性が上がるとして注目されている技術である。