Toray cd20c18f366東レエンジニアリング（東京都中央区、岩出卓社長）は１日、同社従来装置比で転写速度を約２倍にした高効率マイクロ発光ダイオード（ＬＥＤ）転写装置を開発、発売したと発表した。「２・５世代」と呼ばれる画面サイズ３７０ミリ×４７０ミリメートルの大型基板への高速転写も可能。マイクロＬＥＤディスプレーメーカーに提案し、２０２３年度に８億円、２５年度に１５億円の受注を目指す。

 開発した「ＭＴ３０００Ｌ＝写真」はマイクロＬＥＤディスプレーの既存の製造工程で使う。マイクロＬＥＤチップを高速転写した後、一定の割合で含まれる欠陥チップを除去し、再転写するという現在主流の工程の高効率化に役立つ。






今回、半導体実装装置で培った多様な要素技術を応用して転写速度を向上。フラット・パネル・ディスプレー（ＦＰＤ）製造装置事業で培った大型基板での高速、高精度位置決め技術を応用し、２・５世代の基板サイズへの対応を可能にした。

次世代ディスプレーとして期待されるマイクロＬＥＤディスプレーは、数十マイクロメートル角（マイクロは１００万分の１）の微小なＬＥＤを大量に使う。マイクロＬＥＤチップの転写に時間を要し、欠陥チップの除去と再転写にも時間とコストがかかる点が量産化に向けた課題となっている。

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