Nidec_23121503aニデックインスツルメンツは2023年12月11日、真空環境でも大気中と同等の関節自由度を持つ液晶基板搬送ロボット「SR8670」「SR8665」を発表した。

　真空内で動くロボットは、空気やダストなどが内部から排出されないように各関節をシーリングしており、これが関節の動きの自由度を下げる原因となっている。
　SR8670とSR8665には、減速機と一体化した磁気シールを採用しているため、使用するシーリングが最小限で済み、大気中のように自由に関節を動かすことができる。





　SR8670は回転半径が小さいブーメランタイプ、SR8665はアームの自由度が高いスカラタイプだ。双方でユニットを共通化し、コストを抑えている。

液晶パネルや有機ELなどの製造工程で取り扱うマザーガラス基板は、薄膜処理や蒸着などの工程においてクリーンな真空環境が求められる。そのため、ガラス基板を搬送するロボットにも真空に耐える性能が要求される。

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