まだ日本半導体産業が競争力を持っていた1995年に、露光装置の出荷額シェアでニコンは48.9％、キヤノンは28.7％を占めており、合計すると日本は77.6％のシェアを独占していた。そして、この当時、露光装置でシェア1位だったニコンは、「装置の帝王」と呼ばれていた。

ところが、1995年にシェア15.9％だったオランダのASMLが、その後、急速にシェアを向上させ、2002年にニコンとキヤノンを抜き去り、2010年にはシェア80％を超え、2021年には90％に達した。そして、2023年には、ASMLがシェア94.2％を独占する一方、ニコンは3.1％、キヤノンは2.8％までシェアが低下した。





　ASMLは、2008年以降に主力機となったArF液浸のスループットと稼働率で、日本勢を圧倒した。そして、最先端露光装置EUVでは、ASMLの独壇場となった。その結果、もはや、露光装置分野で日本の存在感は消滅したかに思われた（注）。

　ところが、露光装置の「出荷額シェア」ではなく「出荷台数シェア」を算出すると、まるで違った景色が見えてくる。以下で、詳細を論じたい。

Read full article