延べ床面積は約3200㎡…住友化学、大阪工場に先端半導体用フォトレジスト技術棟

住友化学は9日、大阪工場（大阪市此花区）に数十億円を投じて先端半導体用フォトレジスト技術棟を新設すると発表した。
工場内に分散するEUV（極端紫外線）レジストとArF（フッ化アルゴン）レジストの製造プロセス技術、品質評価、分析に関する機能を集約してプロセス管理の高度化を図り、安定供給機能を強化する。
同社は半導体材料事業を成長ドライバーの一つと位置付けており、重点投資して事業拡大を図る計画の一環。