真空環境でも大気中と同等の関節自由度を持つ液晶基板搬送ロボット

ニデックインスツルメンツは2023年12月11日、真空環境でも大気中と同等の関節自由度を持つ液晶基板搬送ロボット「SR8670」「SR8665」を発表した。

　真空内で動くロボットは、空気やダストなどが内部から排出されないように各関節をシーリングしており、これが関節の動きの自由度を下げる原因となっている。
　SR8670とSR8665には、減速機と一体化した磁気シールを採用しているため、使用するシーリングが最小限で済み、大気中のように自由に関節を動かすことができる。

真空環境対応の液晶基板搬送ロボットの開発について（ニデックインスツルメンツ）

ニデック株式会社のグループ会社であるニデックインスツルメンツ株式会社（以下、当社）は、真空環境でも大気中と同等の関節自由度を持つ、液晶基板搬送ロボットを開発しました。

液晶パネルや有機 EL などのディスプレイの製造工程では、生産コストの削減と画面サイズの大型化を同時に実現するため、マザーガラス基板の大型化と処理スピードの高速化が常に求められています。搬送できるガラスのサイズは大きければ大きいほど生産効率が上がるため、近年では、3m×3m の大型サイズへの対応が求められています。マザーガラス基板の薄膜処理や蒸着などの工程は極めて高いレベルのクリーン環境である真空環境が求められ、搬送ロボットにも真空に耐える性能が求められます。

目指すは日本の村田機械、国産化狙う中国半導体自動搬送メーカーが資金調達, 創業者は日本の液晶上場企業に勤務経験

半導体工場向け設備メーカー「蘇州尊芯智能科技（Zunxin Intelligent）」がこのほど、エンジェルラウンドで数千万元（数億～十数億円）を調達した。深圳同創偉業（COWIN CAPITAL）が出資を主導し、協立資本（SHARELINK CAPITAL）も参加した。

調達した資金は、自動搬送システムAMHS（Automated Material Handling System）のストッカー開発と量産準備、OHT（Overhead Hoist Transport：天井走行型搬送車）の開発、海外展開に用いられる。

 尊芯智能科技は2020年に設立され、半導体工場の自動搬送システムAMHSの開発、製造、販売に注力している。AMHSは半導体工場で材料運搬の効率に直結する基幹システムの一つであり、先端半導体工場における量産効率を効果的に高めることができる。

中国の半導体産業の規模は近年拡大を続けており、AMHS市場にも大きな将来性がある。