ペロブスカイト太陽電池向け引き合いも…多孔質カーボン素材のロール活用、高精細フィルムを非接触搬送

タンケンシールセーコウ（東京都大田区、和田正人社長）は、多孔質（ポーラス）カーボン素材を活用した搬送用ロールで、高精細フィルムの非接触搬送を実現した。一般的な金属やゴム製のロールと比較して摩擦による傷やシワが付きにくい。光学系フィルムの製造ラインに採用実績があるほか、成長産業のペロブスカイト太陽電池向けでも引き合いがあるという。日本国内のほか中国や韓国を中心に採用を広げる。

多孔質カーボン素材の搬送用ロール「エアベアリングロール」を活用。数マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）の無数の気孔から空気を送りながら吸引することでフィルムとロールの間に強固な流体膜をつくり、ロールに非接触の状態でフィルムを搬送する。プラスマイナス５マイクロメートルの精度でたわみやうねりを防ぐ。「フィルムの高精細化に伴い、いかに傷を付けないかの要求が高まっている」（羽鳥暢崇ＰＣＰ事業部事業部長）とし、歩留まり向上にも寄与する。

アプライド マテリアルズ OLEDディスプレイをタブレット、PC、テレビに搭載可能にするブレークスルー技術を発表

・新開発のソリューションMAX OLED™は、より大型のガラスパネルを用いたOLED（有機EL）ディスプレイ製造を実現。ハイエンド・スマートフォン用の高度なディスプレイ技術がタブレット、PC、テレビでも利用可能に

・特許取得済みのOLEDピクセル・アーキテクチャと革新的な製造手法により、各種OLEDディスプレイの輝度、解像度、省エネ性、寿命を改善

・高品位OLEDディスプレイの量産に必要な成膜、封止技術を一体型システムに搭載

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、社長兼CEOゲイリー・E・ディッカーソン）は11月21日（現地時間）、MAX OLED™ソリューションを発表しました。これは特許取得済みのOLEDピクセル・アーキテクチャと革新的なディスプレイ製造技術により、ハイエンド・スマートフォン向けの高度なOLEDディスプレイをタブレット、PC、テレビでも利用可能にするものです。

 

有機EL素子の超低輝度における挙動を調べる検査技術を開発

㈱東陽テクニカは、東陽テクニカ米国子会社のTOYOTech LLC(本社︓米国カリフォルニア州、以下 TOYOTech)が、シャープディスプレイテクノロジー株式会社、国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学と共同で、有機EL素子の超低輝度における挙動を調べる検査技術を開発したことをお知らせいたします。

本技術は、有機EL素子に急激に電流が流れ始める電圧と発光開始電圧の差が素子の劣化に伴い大きくなることに着目してこの差を数値化するもので、長寿命化が要求される有機EL素子において、劣化や低輝度で発生する表示ムラの解析に役立つことが期待されます。
本技術について、8月に韓国で開催されたディスプレイに関する国際会議International Meeting on Information Displayにて、三者による共同発表を行いました。

第6／第8世代基板対応、有機ELバックプレーンのブラックPDL形成工程向け装置

SCREENファインテックソリューションズは2024年6月25日、有機ELバックプレーンのブラックPDL（BPDL）形成工程向け塗布現像装置「SK-B」シリーズ2機種を発表した。有機ELディスプレイ製造装置群「E」シリーズの新たなラインアップに追加する。

第6世代基板（1500×1850mm）に対応する「SK-B1500G」と、第8世代基板（2200×2500mm、2250×2600mm、2290×2620mm）に対応する「SK-B2200G」の2機種となる。

韓国半導体製造装置メーカー会長、ガラス基板技術お披露目で「パキッ」…株価急落

半導体製造装置メーカー「ジュソン・エンジニアリング（JUSUNG Engineering Co., Ltd.）」の会長が自社の技術を発表する場で、ガラス基板を割ってしまうという想定外の事態が発生した。

　証券業界によると、5日、ソウル・汝矣島の金融投資教育院で行われたジュソン・エンジニアリングの株主懇談会で、黄喆周（ファン・チョルジュ）会長が自らガラス基板を発表したところ、黄喆周会長が持っていたガラス基板の角が割れた。

　半導体業界では、半導体チップと基板の間に入れる中間基板「インターポーザ」の材料として有機材料やシリコンを使用してきた。

　しかし、どちらの材料も高温に弱く、製造コストが高いなどの短所があった。

キヤノンが「半導体露光装置」出荷台数で大健闘、その戦略が“クレバー”である理由

まだ日本半導体産業が競争力を持っていた1995年に、露光装置の出荷額シェアでニコンは48.9％、キヤノンは28.7％を占めており、合計すると日本は77.6％のシェアを独占していた。そして、この当時、露光装置でシェア1位だったニコンは、「装置の帝王」と呼ばれていた。

ところが、1995年にシェア15.9％だったオランダのASMLが、その後、急速にシェアを向上させ、2002年にニコンとキヤノンを抜き去り、2010年にはシェア80％を超え、2021年には90％に達した。そして、2023年には、ASMLがシェア94.2％を独占する一方、ニコンは3.1％、キヤノンは2.8％までシェアが低下した。

船井電機がLED外観検査装置を内製、目視検査と比べ工数を8分の1に圧縮

船井電機は、「第36回 ものづくり ワールド［東京］」（2024年6月19～21日、東京ビッグサイト）内の「第2回 ものづくりODM／EMS展」において、受託生産事業の生産ラインで活用しているAI（人工知能）技術を活用したLED外観検査装置を披露した。

　「FUNAI」ブランドの液晶テレビや有機ELテレビなどで知られる船井電機だが、約20年前から中国船井電機を中心に受託生産事業を展開している。テレビの技術を基にした液晶ディスプレイ関連が中心だが、近年が車載向けバックライトなどの需要が拡大している。

大日本印刷、黒崎工場（福岡県）で有機ELディスプレイ製造用メタルマスク生産ラインを稼働開始

大日本印刷株式会社（以下：DNP）は、福岡県北九州市の黒崎工場内に新設した有機EL（OLED）ディスプレイ製造用のメタルマスクの生産ラインの稼働を2024年5月に開始しました。

新ラインでは、各種IT機器で導入が進んでいるOLEDディスプレイのうち、生産効率を大幅に高める第8世代（G8）サイズのガラス基板に対応した大型メタルマスクを生産します。

スマートフォン、タブレット端末、ノートパソコン、モニター等のIT製品でOLEDディスプレイの導入が広がっています。そうした市場の中でも特にディスプレイの大型化のニーズが高まっており、OLEDパネルメーカー各社は、現在の第6世代（G6）サイズよりも生産効率が高いG8のガラス基板での量産を推進しています。

車載用の大型特殊ディスプレイやスマートフォン向けFPD露光装置を発売 露光幅拡大により高い生産性を実現

キヤノンは、第6世代ガラス基板に対応したFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置の新製品として、露光幅拡大により高い生産性を実現した“MPAsp-E1003H”を2024年6月上旬に発売します。

近年、自動運転技術の進展や電気自動車の市場拡大により、多様な車載用ディスプレイの需要が高まっています。車載向けやスマートフォン向けのディスプレイの製造においては、薄型・軽量と高精細を両立する品質を実現しながら、効率的に量産を行う高い生産性が求められています。

新製品“MPAsp-E1003H”は、露光幅の拡大による高い生産性と新技術による重ね合わせ精度を両立することで、ディスプレイ製造の効率化に貢献します。

車載用の大型特殊ディスプレイやスマートフォン向けFPD露光装置を発売 露光幅拡大により高い生産性を実現

キヤノンは、第6世代ガラス基板※1に対応したFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置の新製品として、露光幅拡大により高い生産性を実現した“MPAsp-E1003H”を2024年6月上旬に発売します。

近年、自動運転技術の進展や電気自動車の市場拡大により、多様な車載用ディスプレイの需要が高まっています。車載向けやスマートフォン向けのディスプレイの製造においては、薄型・軽量と高精細を両立する品質を実現しながら、効率的に量産を行う高い生産性が求められています。新製品“MPAsp-E1003H”は、露光幅の拡大による高い生産性と新技術による重ね合わせ精度を両立することで、ディスプレイ製造の効率化に貢献します。

アドバンテストと東レエンジがマイクロLED製造関連技術で提携

　アドバンテストと東レエンジニアリングは2024年4月10日、ミニ／マイクロLEDディスプレイの製造分野で、戦略的パートナーシップを締結したと発表した。製造工程で必要となる検査や転写、実装および、データ解析といった技術を組み合わせ、ディスプレイメーカーに提供していく。

　マイクロLEDディスプレイは、数十マイクロメートル角という微小なLEDチップを基板に敷き詰めた製品。自発光のためコントラスト比が高く、低消費電力や長寿命といった特長がある。
ただ大量のLED素子を組み合わせて用いる用途向けでは、製造工程で高度な技術が要求される。例えば、4Kディスプレイでは約2500万個のLED素子を実装する。この工程では精密に配列する実装技術や、欠陥LEDを排除するための検査技術などが求められている。

中国、高解像度の有機EL用インクジェット印刷装置開発成功 仏山季華実験室

中国のディスプレイ情報サイト『WitDisplay』は2024年2月5日付で、中国広東省仏山の中国季華実験室（Ji Hua Laboratory）が同日、200mm×200mm有機EL（OLED）用インクジェット印刷装置の開発に成功したと公表したと伝えた。
7型137ppi基板のフルカラー印刷、5型254ppi、300ppi基板の印刷及びUVテストも実現したという。WitDisplayは、中国が300ppiの高解像度印刷を実現したのはこれが初めてだとしている。







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ブイテクノロジー 中国パネルメーカーのOLED工程内にサルベージ専用ラインを設置

ブイ・テクノロジーは24日、グループ会社であるＶ－Ｔｅｃｈ　Ｓｈｉｎｉｎｇ　Ｃｏｌｏｒ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙが、高性能化するOLED（有機ELディスプレイ）の歩留まりおよびコスト削減に対応するソリューションを実現するために、中国大手パネルメーカー工場内に不良品を救済･良品化する、業界初の「サルベージ専用ライン」を新設したと発表した。
4月から稼働し本格的なサービス提供を開始するとしている。

2024年度の日本製半導体・FPD製造装置の販売高は前年度比2桁成長へ、SEAJ予測

日本半導体製造装置協会(SEAJ)は1月18日、2023〜2025年度の日本製装置およびFPD製造装置の販売高予測(2024年1月版)を発表した。

それによると2023年度の日本製半導体製造装置の販売高は、世界的に不安定な状況が続いたこともありメモリ価格の下落に伴う設備投資削減の影響があったとする一方、米国による対中輸出規制の対象外分野における中国からの投資が堅調であることから、前年度比19％減の3兆1770億円と予測されるという。

また2024年度は中国からの投資継続に加え、ロジック・ファウンドリの投資や年度後半にはDRAMの設備投資も回復が期待できることから、同27％増の4兆348 億円としている。日本製半導体製造装置の販売額が4兆円を超えるのは初となる。さらに2025年度は各国政府の支援の下、多くの大型設備投資が計画されており、同10％増の4兆4383億円と予測している。

真空環境でも大気中と同等の関節自由度を持つ液晶基板搬送ロボット

ニデックインスツルメンツは2023年12月11日、真空環境でも大気中と同等の関節自由度を持つ液晶基板搬送ロボット「SR8670」「SR8665」を発表した。

　真空内で動くロボットは、空気やダストなどが内部から排出されないように各関節をシーリングしており、これが関節の動きの自由度を下げる原因となっている。
　SR8670とSR8665には、減速機と一体化した磁気シールを採用しているため、使用するシーリングが最小限で済み、大気中のように自由に関節を動かすことができる。

真空環境対応の液晶基板搬送ロボットの開発について（ニデックインスツルメンツ）

ニデック株式会社のグループ会社であるニデックインスツルメンツ株式会社（以下、当社）は、真空環境でも大気中と同等の関節自由度を持つ、液晶基板搬送ロボットを開発しました。

液晶パネルや有機 EL などのディスプレイの製造工程では、生産コストの削減と画面サイズの大型化を同時に実現するため、マザーガラス基板の大型化と処理スピードの高速化が常に求められています。搬送できるガラスのサイズは大きければ大きいほど生産効率が上がるため、近年では、3m×3m の大型サイズへの対応が求められています。マザーガラス基板の薄膜処理や蒸着などの工程は極めて高いレベルのクリーン環境である真空環境が求められ、搬送ロボットにも真空に耐える性能が求められます。

多様化するパッケージ技術がデバイスごとの特長を引き出す

電子情報技術産業協会（JEITA）が3年ぶりに実装技術ロードマップを更新し、「2022年度版　実装技術ロードマップ」（書籍）を2022年7月に発行した。本コラムではロードマップの策定を担当したJEITA Jisso技術ロードマップ専門委員会の協力を得て、ロードマップの概要を本コラムの第377回からシリーズで紹介している。 　

本コラムの前回から、第3章「電子デバイスパッケージ」の概要説明を始めた。前回は主に第3章第1節（3.1）「はじめに」の概要を紹介した。今回からは第3章第3節（3.3）「各種パッケージ技術動向」の概要を報告する。

Vテクが大幅反発､フォトマスク製造装置の受注残が過去最高に

液晶や有機ELディスプレーの製造･検査関連装置を手がけるブイ･テクノロジーが4営業日ぶりに大幅反発した。午後1時10分現在､前日比157円（7.1％）高の2375円と東証プライム市場の値上がり率6位で推移している。一時は2395円まで上伸した。

20日に2024年3月期上期（2023年4月～9月）決算で､フォトマスク製造装置の受注残が約75億円と過去最高額を更新したと発表し､好感された。

東レがバンプまでレーザー転写、マイクロLED量産への壁破る

東レは、マイクロLEDディスプレーの製造プロセスで、LEDチップを配線基板に接合するための微細な端子（バンプ）を形成するための接合材料を新たに開発した。これまでは低温低圧プロセスと微細加工を両立させるのが難しかったが、新材料では直径5µmと微細なバンプ形成が可能で、しかもプロセス温度や圧力も大きく低減した。これで、この次世代ディスプレーの製造に関するミッシングリンクが埋まり、市場で離陸する準備が整ったといえる。

　ところが、マイクロLEDディスプレーが話題になって10年以上経つにもかかわらず、製品は非常に少ない。LEDチップの製造コストが高い上に、そのチップの配線基板への実装に非常に時間がかかっていたからだ。10年前は、1辺が数十µmかそれ以下の微細なLEDチップを1個ずつ配線基板に移していたため、LEDチップを約2500万個用いる4Kディスプレーでは1枚のパネルの製造に数カ月かかるともいわれた。

台湾液晶パネル設備メーカー、半導体設備に重点シフト

台湾半導体産業が近年、急速な発展を遂げる中、液晶パネル製造装置を手掛けてきたメーカーは相次いで半導体製造装置の分野に重点をシフトしている。

　台湾パネル産業は2010年に生産額が1兆台湾元を超え、従業員10万人以上の花形産業として隆盛を誇り、パネルの材料や設備の需要も盛り上がっていたが、中国メーカーの台頭により衰退し、台湾のパネル大手、友達光電（AUO）と群創光電（イノラックス）は近年、新工場をほぼ建設していない。
一方、台湾半導体産業の生産額は22年に4兆8000億元に達した。

　こうした中、パネル設備メーカーの多くは、数年前から半導体設備の分野に参入し、受注獲得に成功している。

SCREEN、彦根事業所内に新棟

半導体や液晶製造装置を手掛けるSCREENホールディングス <7735> は14日、彦根事業所（滋賀県彦根市）内に新棟を建設すると発表した。

老朽化したディスプレー製造装置および成膜装置事業の施設を取り壊し、新たに水素関連事業の生産スペースを設ける。今後成長が見込まれる水素関連事業の生産能力の向上などを図る。　

高岡に事業所開設 ＳＣＲＥＥＮホールディングス

半導体洗浄装置の分野で世界シェアトップのＳＣＲＥＥＮホールディングス（ＨＤ、京都市）は２５日までに、高岡市本郷２丁目で、高岡事業所を開設した。洗浄装置の部品の組み立てや検査を行い、グループ企業に供給する。

　高岡事業所は鉄骨造２階建てで、延べ床面積約８千平方メートル。同ＨＤの子会社「ＳＣＲＥＥＮセミコンダクターソリューションズ」（京都市）の製造拠点となる。総投資額は５５億円。

第8.7世代フラットパネルディスプレイ向けプラズマエッチング装置PICP™ EX PlusおよびAPX販売開始

東京エレクトロンは、第8.7世代*1ガラス基板対応プラズマエッチング装置に関し、高精細プロセス向け新チャンバーPICP EX Plus を搭載した「Betelex™2700 PICP™ EX Plus」を販売開始することをお知らせします。また、あわせてコロージョン*2抑制プロセスユニット APXを販売開始いたします。

　IT製品用有機EL向けを中心とした第8.7世代でのディスプレイ製造においては、高精細・高付加価値・大面積ディスプレイを実現させるため、広いガラス面積に対して、従来以上に高均一性・高選択性のエッチングが必要になるとともにコロージョン抑制、パーティクル対策などにおいても厳格な製造管理が求められています。 　

このような市場の要求に応えるため、第8.7世代向けプラズマモジュールPICP EX Plusを開発しました。

SCREEN、新事業所を開設

　半導体や液晶製造装置を手掛けるSCREENホールディングスは22日、高岡事業所（富山県高岡市）を開設したと発表した。
23日から操業を開始し、生産能力の向上や効率化を図る。

日本製半導体／FPD製造装置、23年度は厳しい市況に

日本半導体装置協会（以下、SEAJ）は2023年7月6日、「半導体・FPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置 需要予測（2023年度～2025年度）」を発表した。同予測は、SEAJの半導体調査統計専門委員会およびFPD調査統計専門委員による需要予測と、SEAJ理事／監事企業20社による市場規模動向調査結果を基に、SEAJがまとめた結果だ。

まず、半導体製造装置については、2023年度（2023年4月～2024年3月）の日本製装置の販売高は、前年度比23％減の3兆201億円と予測した。中国を中心に成熟世代向けの設備投資が継続している一方で、米国の対中輸出規制を受けて先端工場計画を変更したことによるマイナス影響や、メモリを中心とした設備投資の回復に時間を要している状況を踏まえた予測だ。

東レがマイクロLEDディスプレー量産への壁破る、時計やARで市場離陸か

東レは、マイクロLEDディスプレーの製造プロセスで、LEDチップを配線基板に接合するための微細な端子（バンプ）を形成するための接合材料を新たに開発した。これまでは低温低圧プロセスと微細加工を両立させるのが難しかったが、新材料では直径5μmと微細なバンプ形成が可能で、しかもプロセス温度や圧力も大きく低減した。これで、この次世代ディスプレーの製造に関するミッシングリンクが埋まり、市場で離陸する準備が整ったといえる。

　マイクロLEDディスプレーは、ディスプレーを構成する赤色（R）、緑色（G）、青色（B）の各画素の光源にLEDチップを用いた次世代ディスプレー。液晶ディスプレーと異なり自発光でコントラストが高く、低消費電力である。また、有機ELディスプレーに対しては、はるかに高輝度、長寿命で、性能上は究極のディスプレーになり得る。2014年には米Apple（アップル）がマイクロLEDのスタートアップである米LuxVue Technology（ラックスビューテクノロジー）を買収し、大きな話題になった。

世界トップの総合ペリクルメーカーへ、三井化学が液晶や有機ＥＬに加え半導体市場の需要獲得に注力

三井化学は旭化成からフォトマスク用防塵カバーのペリクル事業を取得し、設立した三井化学ＥＭＳ（宮崎県延岡市）の営業を開始した。三井化学グループのペリクル事業について新製品の開発や最先端技術の向上を進め、世界トップの総合ペリクルメーカーを目指す。

三井化学ＥＭＳは三井化学の完全子会社で、従業員は約１７０人。液晶や有機ＥＬなどのフラット・パネル・ディスプレー（ＦＰＤ）の露光工程で使用するＦＰＤペリクルで世界トップシェアを占めている。

Calibrite、最大10000nitsまで測定できる次世代ディスプレイ向けセンサー

ヴィンチェロは、クリエイター向けの校正ツールを手掛ける米Calibrite(キャリブライト)社の新製品として、次世代ディスプレイ向けのキャリブレーションセンサー3機種を7月下旬より販売開始する。価格は、「Calibrite Display SL」が36,080円、「Calibrite Display Pro HL」が53,680円、「Calibrite Display Plus HL」が60,500円。

液晶、ミニLED液晶、有機ELなど、様々なテレビやディスプレイの性能測定・校正に利用するキャリブレーションセンサー。 3機種の違いは、測定可能な最大輝度やサポートするビデオ信号など。USB-C接続のボディ形状のほか、
パソコンに接続するためのUSB-Aアダプタや収納キャリーポーチの同梱など、基本的な仕様は変わらない。

液晶の傾きを制御、浜松ホトニクス、世界最高の耐光性能を持つレーザ金属加工向け空間光位相変調器開発

浜松ホトニクスは、独自の熱設計技術を応用し放熱性能を高めることで、耐光性能を世界最高となる700Wと従来製品の約3.5倍まで高めた空間光位相変調器（LCOS-SLM：Liquid Crystal On Silicon - Spatial Light Modulator）「X15213-03CL」を新たに開発した。

この製品は、レーザの照射パターンを自由に制御することができるレーザ金属加工向けの光学部品。金属粉をレーザで焼き固めて航空機部品や輸送機器部品などを成型する金属3Dプリンティングや、レーザによる金属溶接・切断などに応用することで、生産効率を高めることができると期待できる。

今年12月1日より、国内外の金属3Dプリンタメーカーやレーザ加工機メーカーに向けて販売を開始する。また、6月27日～30日まで独バイエルン州ミュンヘンで開催されるレーザやレーザシステム、光学系の世界最大級の専門展「LASER World of PHOTONICS 2023」に出展する。

ニコン、パネル製造装置減速

液晶パネルの市況悪化で、フラットパネルディスプレー（FPD）向け露光装置の販売が減少する。連結純利益（国際会計基準）は前期比22%減の350億円となる見通し。

【高度人材賃金で特別枠】事業開発やIT（情報技術）技術者など高度人材の獲得に向けて、年収の上限を撤廃し採用したい人材の能力に応じて個別に賃金を決める新制度を本格運用する。

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北陸電気工業、純利益が大幅減 モジュール好調、「ＪＯＬＥＤ」特損響く

北陸電気工業が１０日発表した２０２３年３月期連結決算は、自動車関連向けを中心にモジュール製品が好調に推移し、経常利益ベースで２年連続の増収増益となったが、経営破綻した有機ＥＬディスプレイメーカー「ＪＯＬＥＤ」の倒産に伴う特別損失２０億４００万円を計上したため純利益は大幅に減少した。 　

事業別売上高は電子部品が前年比１２・４％増の４４４億２５００万円、金型・機械設備が１２・２％増の７億６３００万円、その他が１４・０％減の５億６３００万円だった。

　１株当たりの期末配当を前期実績から１０円増配し５５円とした。２４年３月期も同額とする見通し。

世界最高水準の超低輝度領域まで測定可能な分光放射輝度計「CS-3000HDR」を発売

コニカミノルタ株式会社（本社：東京都千代田区、社長：大幸 利充、以下　コニカミノルタ）は、世界最高水準*1の超低輝度領域まで測定可能な分光放射輝度計「CS-3000HDR」と、「CS-3000」「CS-2000Plus」（3機種合わせて、以下「CS-3000シリーズ」）を2023年7月に発売予定です。

ワイエイシイホールディングス---連結子会社のワイエイシイデンコーがワイエイシイテクノロジーズを吸収合併

ワイエイシイホールディングスは、17日、連結子会社であるワイエイシイデンコーとワイエイシイテクノロジーズが合併することを決議した。

 ワイエイシイデンコーとワイエイシイテクノロジーズは、それぞれ加熱処理装置とドライエッチング装置を主体とし、同じフラットパネルディスプレイ業界向けに装置の製造販売を行っている。

アルバック、減収減益

新型コロナウイルス禍で特需が起きた反動で、液晶や有機ELのパネル需要が低迷し、製造装置の引き合いも想定を下回る。

部材不足が長引いており、思うように生産できない状況も悪材料になっている。

 【パネル需要の回復時期】

世界経済の景気悪化が長引けばタブレットやパソコンの需要が戻らず、フラットパネルディスプレー製造装置も出荷減が続く。市況変動が激しいパネル向け製造装置の売上割合を縮小し、利益率の比較的高い半導体製造装置を主に販売する体制作りが必要だ。

目指すは日本の村田機械、国産化狙う中国半導体自動搬送メーカーが資金調達, 創業者は日本の液晶上場企業に勤務経験

半導体工場向け設備メーカー「蘇州尊芯智能科技（Zunxin Intelligent）」がこのほど、エンジェルラウンドで数千万元（数億～十数億円）を調達した。深圳同創偉業（COWIN CAPITAL）が出資を主導し、協立資本（SHARELINK CAPITAL）も参加した。

調達した資金は、自動搬送システムAMHS（Automated Material Handling System）のストッカー開発と量産準備、OHT（Overhead Hoist Transport：天井走行型搬送車）の開発、海外展開に用いられる。

 尊芯智能科技は2020年に設立され、半導体工場の自動搬送システムAMHSの開発、製造、販売に注力している。AMHSは半導体工場で材料運搬の効率に直結する基幹システムの一つであり、先端半導体工場における量産効率を効果的に高めることができる。

中国の半導体産業の規模は近年拡大を続けており、AMHS市場にも大きな将来性がある。

アルバックの23年6月期、一転最終減益 液晶装置苦戦

アルバックは13日、2023年6月期の連結純利益が前期比1%減の200億円になる見通しだと発表した。14%増の230億円を見込んでいた従来予想から一転減益となる。

新型コロナウイルス禍特需の反動で液晶製造装置の販売が想定より減る。部材不足の長期化も重荷となる。

マイクロＬＥＤディスプレー向け新規プロセス技術＝信越化学工業

信越化学工業は、マイクロＬＥＤ（発光ダイオード）ディスプレー向けの新規プロセス技術などを開発したと発表した。

デクセリアルズ（栃木県下野市）と共同開発した新規プロセス技術は個片化した異方性導電膜（ＡＣＦ）を狙った場所に転写するもので、ディスプレー製造時のリペアープロセスを容易化する。

新年トップインタビュー／加貫ローラ製作所社長 加貫泰弘氏

「2022年は厳しい環境ながらコロナからの立ち直りで受注が回復し、事業としてはまずまずだった」と話す加貫ローラ製作所の加貫泰弘社長。2023年は特に液晶偏光フィルム用ロールに関するニーズを幅広く獲得し、シェアアップに繋げていく方針だ。

■2022年を振り返って 　

原材料の供給停滞や価格高騰、秋からの電力料金の大幅上昇など取り巻く環境は厳しかったが、事業としてはまずまずだった。コロナから立ち直り、取引先の事業が活動を再開したことを受けて、当社の受注も順調に回復した。社内においても残業時間の削減を実現するために製造・営業を問わず効率的な働き方に取り組んだ。こうした努力がしっかりと実を結び、効果を発揮した一年だった。

[参考記事] 大型パネル市場（テレビ）偏光板のサプライチェーン、依然強い日本

オンリーワンの検査・計測技術で マルチ・ニッチトップ企業を目指す 岡林 理レーザーテック 社長

光応用技術を用いた数々の検査・計測ソリューションを提供するレーザーテック。最先端のEUV（極端紫外線）を用いた検査装置を世界で初めて開発。マスク検査装置で高シェアを誇る。半導体業界の技術革新をチャンスと捉え、その進化に合わせた製品を開発している。

 研究開発に特化したファブライト（自社で最小限の製造規模を維持しながら、製造を外部企業に委託する）企業として、光応用技術を核とした検査・計測装置を開発するレーザーテック。

現在は半導体関連の検査装置を主力事業とし、なかでも半導体製造時に使用されるフォトマスク（半導体デバイスの製造に用いられる回路パターンの原版）やマスクブランクス（ガラス基板上に各種の薄膜を積層したフォトマスクの材料）の検査装置など、世界市場において高いシェアを誇る製品を数多く有している。

ＳＣＲＥＥＮホールディングス、塗布乾燥装置の新製品を発売

ＳＣＲＥＥＮホールディングス（スクリン） は２０日、グループのＳＣＲＥＥＮファインテックソリューションズが、フレキシブルディスプレー用基板形成工程用塗布乾燥装置の新製品、第６世代基板用「ＳＫ－Ｐ１５０１Ｇ」、第８世代基板用「ＳＫ－Ｐ２２００Ｇ」を開発。有機ＥＬディスプレー製造装置群「Ｅシリーズ」の新たなラインアップとして、１２月から販売を開始したと発表した。

半導体実装装置の要素技術を応用、東レエンジが速度２倍のＬＥＤ転写機投入

東レエンジニアリング（東京都中央区、岩出卓社長）は１日、同社従来装置比で転写速度を約２倍にした高効率マイクロ発光ダイオード（ＬＥＤ）転写装置を開発、発売したと発表した。「２・５世代」と呼ばれる画面サイズ３７０ミリ×４７０ミリメートルの大型基板への高速転写も可能。マイクロＬＥＤディスプレーメーカーに提案し、２０２３年度に８億円、２５年度に１５億円の受注を目指す。

 開発した「ＭＴ３０００Ｌ＝写真」はマイクロＬＥＤディスプレーの既存の製造工程で使う。マイクロＬＥＤチップを高速転写した後、一定の割合で含まれる欠陥チップを除去し、再転写するという現在主流の工程の高効率化に役立つ。

マルマエは戻り試す、23年8月期減益予想だが保守的

マルマエは半導体・FPD製造装置向け真空部品などの精密切削加工を展開している。中期事業計画「Innovatuin2025」では成長戦略として、消耗品拡大による受注安定化、市場シェア拡大に向けた能力増強投資、ESG経営の推進を打ち出している。23年8月期は減益予想としている。

売上面は市場全体が停滞傾向でもシェア拡大で高水準に推移する見込みだが、利益面は減価償却費増加や人員増先行による利益率低下などが影響する見込みとしている。ただし保守的な印象が強く上振れ余地がありそうだ。積極的な事業展開で収益拡大基調だろう。

株価は23年8月期減益予想を嫌気した売りが一巡し、10月の年初来安値圏から反発して水準を切り上げている。戻りを試す展開を期待したい。なお12月28日に23年8月期第1四半期決算発表を予定している。

 半導体・FPD(フラットパネルディスプレー)製造装置に使用される真空部品や電極などの精密切削加工、および電子ビーム溶接(EBW)を展開している。

22年8月期の分野別受注高は半導体分野が44.9%増の70億27百万円、FPD分野が25.9%増の14億61百万円、その他分野が3.0倍の7億円、分野別売上高は半導体分野が51.2%増の63億82百万円、FPD分野が84.0%増の15億42百万円、その他分野が2.6倍%増の4億45百万円だった。

半導体分野は良好な市場環境を背景に過去最高水準だった。FPD分野は市場が横ばいだったがシェア拡大が牽引した。その他分野は太陽電池製造装置部品の受注が増加した。

拡大市場を狙う大日本印刷、有機ＥＬ用メタルマスク新ラインに200億円投資

大日本印刷（ＤＮＰ）は１０日、黒崎工場（北九州市八幡西区＝写真）に、有機ＥＬディスプレー製造用メタルマスクの大型品生産ラインを新設すると発表した。投資額は２００億円。２０２４年上期（１―６月）に稼働を始める。ライン新設により、生産能力を従来の２倍以上にする。
スマートフォン向けメタルマスク生産の強みを、タブレット端末やノートパソコン向けにも展開。事業拡大を目指す。

新ラインでは、タブレット端末など向け有機ＥＬディスプレーの生産効率を高める、第８世代のガラス基板に対応した大型メタルマスクを生産。主要生産拠点の三原工場（広島県三原市）を支援し、事業継続計画（ＢＣＰ）を強化する。

東レエンジ、マイクロＬＥＤディスプレイ生産性向上へ接合材検証

東レエンジニアリングは、ディスプレイ駆動基板に直接マイクロＬＥＤ（発光ダイオード）チップの良品のみを配置する技術を開発する。
実用化されれば生産性が向上し、テレビなど大型でのマイクロＬＥＤディスプレイの普及が前倒しされる可能性がある。上市ずみの高速レーザー転写装置で機械的な技術をほぼ確立したが、目下の課題は接合材となる。
現在、東レをはじめとした各メーカーが持ち込んだ接合材を検証中で、２０２２年度に試作品を完成させ、２３年度に顧客での評価を開始。２５年度をめどに採用を見込む。







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次世代ディスプレイ検査装置「特儀科技」が資金調達、中国初のマイクロ有機EL自動検査ラインを実現

半導体ディスプレイの自動検査装置を製造する「特儀科技（TEYI Technology）」が、シリーズBで資金調達したと発表した。リードインベスターは「中電中金（CLP Zhongjin）」で、「浙商創投（Zheshang Venture Capital）」と「新俊逸資本」も出資に加わった。調達した資金はミニ LEDやマイクロ LED、半導体の検査装置開発に充てられる。

特儀科技はディスプレイ向け自動検査装置の研究開発や設計、製造、販売に注力しており、製品は液晶ディスプレイ（LCD）や有機EL（OLED）のほか、次世代ディスプレイと目されるマイクロLEDやミニLED、マイクロ有機EL、TFT液晶の製造に広く使用されている。有機EL検査装置は中国の大手パネル製造工場が導入しており、3C製品（コンピューター、通信機器、家電）や半導体の一流ブランドを間接的に支えている。

マイクロLEDの量産を効率化 東レエンジニアリングの実装・検査装置

次世代ディスプレーとして期待されるマイクロLEDは、製造コストを削減するため工程時間の短縮が課題となっている。
　東レ子会社の東レエンジニアリングは、マイクロLEDチップの製造プロセスを大幅に効率化する装置群を提案。チップ実装、レーザー転写、外観検査などグループの技術を集め、「量産装置のデファクトスタンダード」を目指す。
　大画面のマイクロLEDディスプレーの量産化実現には、処理時間の長さがネックとなる。
　家庭用の大型4Kテレビには約2500万個のマイクロLEDチップを並べるが、不良率が約1%とすると不良品は約25万個。仮にこの数を1チップずつ拾い上げて配置すると処理に約350時間かかる。これではテレビの量産には対応できない。

ローツェが急騰、今２月期の大幅増収増益・増配予想を好感

ローツェ（６３２３）が商いを伴って急騰。
午前１０時１０分(4/12)時点では前日比１７００円（１５．５％）高の１万２６７０円で東証プライム市場の値上がり率銘柄ランキングの首位となっている。
当社は半導体や液晶工場に導入されるウエハ、ガラス基板等の搬送装置が主力製品。

ブイテクノロジー、半導体・ディスプレー向けマスク修正装置

ディスプレー製造装置のブイ・テクノロジーは半導体やディスプレーの回路形成に使うフォトマスク（回路原版）の新型修正装置で初めて受注を獲得したと発表した。高い位置精度でフォトマスク上の細かい欠陥を修正したり、回路パターンを描画したりできる。同社の検査装置や測定装置と組み合わせることで、半導体やディスプレー製品の品質を担保できる。

受注を獲得したのは集束イオンビームフォトマスク修正装置「Draco」で、4月以降の出荷を見込む。同装置は半導体や中小型の有機ELディスプレー、液晶ディスプレー向けのフォトマスクを修正するものだ。

【韓国報道】韓国企業、日本から全量輸入に頼っていた有機ＥＬ用ファインメタルマスクＦ国産化

韓国企業のプンウォン精密が日本製品が独占していた有機ＥＬ（ＯＬＥＤ）用ファインメタルマスク（ＦＭＭ）を開発した。

韓国メディア「電子新聞」によると、プンウォン精密は第６世代の半分サイズ（第６世代ハーフ、６ＧＨ）有機ＥＬ用ＦＭＭ技術検証に通過して、来月初めにも物量を供給すると６日、明らかにした。６ＧＨは第６世代有機ＥＬ基板を半分にカットしたパネルで、スマートフォンなどモバイル用ディスプレイを作ることができる。有機ＥＬ用ＦＭＭは大日本印刷（ＤＮＰ）が韓国に独占的に供給してきた。市場規模は５０００億ウォン（約４８０億円）以上と推定される。

東陽テクニカ、液晶物性評価システムの販売を開始

東陽テクニカは2022年1月、液晶パネルの不良検出や液晶材料の評価を、高い精度で効率的に行える液晶物性評価システム「LCE-X」シリーズを開発、2022年1月14日から全世界で販売すると発表した。

同社はこれまで、液晶パネルおよび液晶材料を評価するための測定機器として、電圧保持率測定システム「VHR型」や液晶物性評価システム「6254型」、TFT-LCD評価システム「LCM-3型」などを開発し販売してきた。LCE-Xシリーズは、これらのシステムを統合した製品となる。