ニコン、大井製作所内に新本社を建設 ニコンミュージアムも併設

　ニコンは11月4日、東京都品川区の大井製作所敷地内の空き地に新本社を建設する方針を固め、具体的検討を開始したと発表した。22年夏に着工、24年春に竣工、24年夏に稼働開始の計画。 　

新本社は、地上6階、延床面積4万2000m2程度となる見込み。柔軟な働き方に対応したワークプレイスを整え、デジタル化を推進するオフィス空間を目指す。サステナビリティを重視し、地域に根ざした環境配慮型オフィスビルとして、建物全体での大幅な省エネを実現し、「ZEB Ready」認証を取得する見込みで、太陽光発電の導入による創エネも行う計画。

ニコン FPD露光装置「FX-6AS」を発売

株式会社ニコン（社長：馬立 稔和、東京都港区）は、中小型パネル対応のFPD露光装置「FX-6AS」を発売します。「FX-6AS」は、スマートデバイスに代表される、最先端の高機能モバイル機器に用いられる高精細有機ELパネルや液晶パネル製造に最適な露光装置です。

新開発の投影レンズを搭載し、高解像度、高精度アライメント、高スループットを実現。また、光源波長には従来モデルと同じi線を採用しているため、現行の製造プロセスを踏襲したまま、高精細パネルの量産が可能です。

次世代ディスプレイの性能検査を無人化へ 中国新興が全自動検査設備を開発

次世代ディスプレイの検査設備を生産する「特儀科技（TEYI Technology）」がシリーズA＋で1億元（約17億円）規模の資金を調達した。国家中小企業発展基金（China SME Development Fund）が出資を主導し、合肥芯屏基金やアモイ市の科学技術局などが出資に加わった。調達した資金は次世代ディスプレイや半導体設備の研究開発、新工場における生産規模の拡大に充て、業界内での優位性をさらに高めていくとしている。

同社は主に液晶（LCD）、有機EL（OLED）、マイクロ有機EL、ミニLED、マイクロLEDパネルの光学検査設備の開発と販売を行っており、ディスプレイの製造過程における外観、スクリーン、パラメーター、光学性能、信頼性などの検査を行う製品を提供している。

性能検査はディスプレイ製造に関わる全プロセスをカバーしており、検査作業は無人化を実現した。最新のマイクロ有機EL検査設備はディスプレイ製造大手「BOE（京東方）」など複数の企業が導入しているほか、ミニLED、有機EL、液晶パネルの検査設備も国内大手企業で利用されている。

ＡＩメカが続伸、２２年６月期は増収増益基調継続で配当実施も

ＡＩメカテック<6227>が続伸。同社は７月３０日に東証２部に新規上場した直近ＩＰＯ銘柄で、半導体パッケージや液晶・有機ＥＬディスプレーの製造装置などを手掛ける。
前週末６日の取引終了後に２２年６月期の連結業績予想を発表し、売上高を１７０億８９００万円（前期比６．１％増）、純利益を７億６７００万円（同１０．１％増）とした。
あわせて４５円の年間配当を実施する見通しを示しており、こうしたことが好感されているようだ。

平面部品の表面粗さ、カメラ・液晶で計測 九州工大

九州工業大学の岡部孝弘教授らは、カメラと液晶ディスプレーで部品の表面粗さを計測する技術を開発した。対象部品や光源を動かさず、面的な表面粗さ分布を求められる。精密部品などの計測対象を動かせない場面や、光源の駆動機構を持ち込めない装置内計測などに向く。平面部品の計測に成功したことから、曲面部品や立体部品への応用を目指す。

表面粗さを計測する際に対象部品の表面が鏡面ならば光は正反射し、荒れていれば光が散乱する。そこで光源を動かし、さまざまな角度から光を当てて散乱光を計測する。この光源を動かす仕組みを大型液晶ディスプレーで代替した。液晶ディスプレーを一様に光らせるのでなく、光源を動かすような画像を提示する。

【モノを運ぶプロフェッショナル】 ダイフク・ 下代博の『コロナ禍でも生産を止めない物流システムを』

マテハン。正確には【マテリアルハンドリング】で、生産拠点や物流拠点でのモノの搬送・管理を行う業務。この領域で世界１の評価を受けているのがダイフク。このコロナ禍でも受注は多く、２０２１年３月期の増収増益で売上高は史上最高を記録。
背景にはネット通販の伸びで、世界で物流センター投資が相次いでいること。そして人手不足を解決するための自動化ニーズの高まりがある。「ずっと物流の自動化を手がけてきたことで、物流センター建設の際に皆さんに声をかけていただいています」と社長の下代博氏。同社の好業績を支えるのは、この物流センターと半導体領域の２つ。

ウシオ電機、一時14%高 映画投影用・露光装置交換ランプ好調で上方修正

30日の東京株式市場でウシオ電機株が大幅反発した。一時、前日比248円（14%）高の2038円を付け、年初来高値を更新した。映画館向けプロジェクター用ランプの販売が増加していることなどから、29日の引け後に2022年3月期の業績予想を上方修正した。市場の想定を大きく上回る修正を好感した買いが集まり、売買代金は前日の約8倍に膨らんだ。

22年3月期の連結最終損益は当初予想の40億円の黒字（前期は6億円の赤字）から80億円の黒字に倍増する見通し。売上高の予想は同150億円上積みし、前期比27%増の1500億円。ウシオ電によると、同社は映画館のプロジェクター用ランプで6割超の世界シェアを持つ。欧米で新型コロナウイルスのワクチン接種が進み、映画館の稼働率の回復が会社想定を大きく上回った。交換用ランプなどの需要が急拡大し、上方修正につながった。

工作機械７社、５月受注2.2倍 海外の回復鮮明

日刊工業新聞社が９日まとめた工作機械主要７社の５月の受注実績は、前年同月比２・２倍の３５５億４２００万円で６カ月連続の増加となった。国内外での受注回復に加え、前年同月が新型コロナウイルス感染症の影響で低かった反動もあり、大幅な伸び率となった。特に海外需要の回復が鮮明で、中国以外の地域でも設備投資の動きが広がり始めている。

全社が合計、国内、輸出の各項目で増加した。特に輸出の増加が顕著で、牧野フライス製作所やツガミなど５社が２倍以上の伸びとなった。牧野フライスは合計が２０１９年３月以来の８０億円超えとなり、輸出は過去最高を更新。中国で自動車向けに大口受注があったほか米国でも自動車や半導体製造装置関連向けに受注が増えた。

【中国報道】日本の技術は「金があっても買えない！」

ここ数年、中国で「匠の精神」という言葉がよく聞かれる。モノづくりを通じて国内経済を活性化したい中国では、この精神の重要性が強調されている。とはいえ、ある米国の学者の言葉を借りると「中国には歴史を通じて文化的な蓄積はあるが、技術力については日本が上」と言える。
中国メディアの百度も「これまで粗削りに突き進んできた我が国も、現在は繊細なモノづくりの精神が必要」と述べ、今こそモノづくり大国の日本にみならうべきと述べている。

　中でも記事は、「１台１００億円の機械を毎年１０台売り、３５０人の社員を支えている、高度な技術力を持つ日本企業」について紹介し、このような企業がこれまで中国にはなかったと指摘している。

フジプレアム、液晶製造装置の飯沼ゲージ製作所を子会社化

　フジプレアム は14日、液晶製造装置を開発・製造する飯沼ゲージ製作所（長野県茅野市）の株式を取得し、子会社化すると発表した。貼合ビジネスでの相互技術補完や液晶関連製品のラインナップ拡充などが狙い。発行済み株式総数1600株のうち、1067株を取得する。取得価額は非開示。残る533株は株式譲渡実行日の26日までに飯沼ゲージが自社株として取得する予定。　

※記事の出典元はツイッターで確認できます⇒コチラ

東京エレクトロン、高精細ディスプレー向け製造装置

半導体製造装置大手の東京エレクトロンは、スマートフォンなどに搭載する高精細ディスプレーのエッチング装置を新たに発売する。有機ELパネルのガラス基板を均一に処理できる手法を採用し、回路パターンを高密度に形成できる。

有機ELパネルの高精細化や低消費電力化、高機能化などに役立つ見込みだ。 新製品の「Impressio 1800 PICP Pro」と「Betelex 1800 PICP Pro」は、「第6世代」（1500ミリメートル×1850ミリ）と呼ばれる中小型パネル向け基板に対応したプラズマエッチング装置だ。

比企光学、光学ガラス用自動装置を導入 ＡＩで外観検査

比企光学（埼玉県小川町）は、人工知能（ＡＩ）による自動外観検査装置を導入した。光学ガラスのキズや欠陥、亀裂など不良の検出を完全自動化するのが最終目標。現在、グループ会社の比企オプティクス（埼玉県秩父市）のガラス製品製造工程で、検査と平行して学習作業を実施。１―２年内にも検査作業をすべてＡＩに任せる意向だ。

約８００万円を投資し、ＡＩ搭載コンピューター、高解像度カメラ、ロボットアーム、照明などを導入し、検査システムを組み上げた。

浜松ホトニクス、マイクロＬＥＤ高速検査装置 10平方センチメートルを20分で

浜松ホトニクスは次世代ディスプレーとして期待されるマイクロＬＥＤ（発光ダイオード）の外観、輝度、発光波長の異常を高速で検査できる装置「ＭｉＮＹ（マイニー）ＰＬ　マイクロＬＥＤ　ＰＬ検査装置Ｃ１５７４０―０１」を発売した。消費税抜きの価格は１億円。国内外のＬＥＤやディスプレーメーカー向けに初年度５台の販売を目指す。

光をマイクロＬＥＤに当ててエネルギーを与え、元の状態に戻る際の発光をイメージングするフォトルミネッセンス（ＰＬ）計測法を用いて輝度や発光波長の異常を検査。可視光を当て外観異常を検査する。ＰＬで得た画像と可視光で得た画像を組み合わせて良・不良を判定する。

機能性フィルムの表面ひずみを高い精度で定量計測

東京工業大学科学技術創成研究院化学生命科学研究所の宍戸厚教授と大学院生の田口諒氏は2021年3月、東京大学大学院新領域創成科学研究科の竹谷純一教授らの研究グループと、機能性フィルムの表面ひずみを高い精度で計測できる手法「表面ラベルグレーティング法」を開発したと発表した。定量的な計測が可能となり、曲げても壊れにくいフレキシブル電子デバイスの開発が比較的容易となる。

　スマートフォンやタブレット端末など、折りたたみ可能なデバイスには、フィルム上にICや導電体材料を積み重ねたフレキシブル電子デバイスが用いられる。ところが、使用中に導電材料の限界を超える曲げが生じると、フィルム表面が大きくひずんで、デバイスが破損する可能性があった。

コニカミノルタ、60％時短の分光測色計 色と光沢を同時測定

コニカミノルタは、色と光沢を同時に測定できる卓上型分光測色計「ＣＭ―３６ｄＧ」を２月に発売する。従来、別々に提供してきた測色計と光沢計の機能を一体化。測定時間を約６０％短縮したほか、色と光沢の測定結果をソフトウエアで一括管理できるようにした。主な販売対象となる塗料やプラスチック、布地など材料サプライヤーの調色や品質管理の作業効率向上が期待できる。２０２５年度に数千台の販売を目指す。

新製品は、卓上型分光測色計の主力シリーズで２４年ぶりの全面改良となる。従来は卓上型の測色計とハンディータイプの光沢計のそれぞれで色と光沢を測定する必要があったが、新製品は色と光沢の同時測定が可能。対象物を各計測器に付け替える手間が省けるため、１回当たりの測定時間を十数秒から約４秒に短縮できる。従来、別々のソフトで管理していた色と光沢の測定結果も、一つのソフトで管理できる。

産総研・大陽日酸、太陽電池を高効率・低コスト化 アルミ材成膜装置作製

産業技術総合研究所と大陽日酸の研究グループは、太陽電池の中で最も発電効率が高いとされる「ＩＩＩ―Ｖ族化合物太陽電池」の低コスト化につながる技術を開発した。安価な材料で高速に成膜できる「ハイドライド気相成長（ＨＶＰＥ）法」を利用し、太陽電池の高効率化や薄膜化に必要なアルミニウム系材料の成膜装置を作製。成膜したアルミ系材料を太陽電池に導入し、発電効率の向上を確認した。高効率太陽電池の普及が期待される。

シーメンス、「未来の工場」変幻自在 生産性が14倍に

デジタル分野を強化してきた独シーメンスの戦略が新局面に入ってきた。デジタル技術を駆使し、生産ラインの姿を柔軟に変えられる「未来の工場」をつくる。新型コロナウイルスで産業界が変革期に入るのを契機に、システムを外販する。産業分野に攻め込むアマゾン・ドット・コムなど米IT（情報技術）大手との競争も本格化する。

1847年創業のシーメンスは電気通信設備に端を発し、日本初の水力発電設備やレントゲン装置を納入するなど日本の近代化とのつながりも深い。鉄道車両や発電設備などで高い世界シェアを誇る同社が、近年経営資源を注いできたのが工場のデジタル化の分野だ。

独南部シュツットガルト。2019年9月に量産が始まった独ポルシェの新しい電気自動車（EV）「タイカン」の工場には、従来の組み立てで当たり前のベルトコンベヤーがない。

FPD露光装置市場、19年は90台にとどまる 4年ぶりに100台下回る

2019年10～12月期のFPD（Flat Panel Display）露光装置の出荷台数は、キヤノン、ニコンの主要２社で16台となり、2期連続で20台を下回った。これにより19年通年の出荷台数は両社合計で90台となり、18年の6割の水準（18年は142台）にとどまり、2年連続で前年実績を下回った。FPDメーカーの設備投資がスローダウンしたことが影響した。

　FPD露光装置は、液晶ディスプレーや有機ELディスプレーの画素を駆動する薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor＝TFT）をガラス基板上に形成するのに使用される。TFTの回路パターンが書かれている原版であるフォトマスクに光を照射し、レンズを介してパターンをガラス基板上に露光する。

アルバック、今期純利益108億円に下振れ 液晶パネル装置が苦戦

アルバックは13日、2020年6月期の連結純利益が108億円と前期比で42%減る見込みだと発表した。同17%減の155億円としていた従来予想から引き下げた。顧客である中国のパネルメーカーが液晶パネルの投資を延期したため。半導体製造装置の開発投資の積み増しも響く。

売上高は10%減の1980億円を見込む。70億円下方修正した。中国を中心に液晶パネルの供給が過剰になり、価格が下落傾向にある。そのため中国パネルメーカーが大型テレビ向けの設備投資を延期した。スマートフォン向けの有機ELパネルでも投資延期の動きがあり、受注高全体の見通しを1680億円と380億円引き下げた。

ローツェが追加受注、サムスンへパネル装置

半導体・液晶製造装置メーカーのローツェ（広島県福山市）が、韓国パネル大手のサムスンディスプレーから約318億ウォン（約30億円）分のディスプレー製造装置を受注した。６日に発表されたサムスンディスプレーと同社のベトナム法人から請け負った計28億円規模の案件に続く、追加受注となる。

「中韓で有機EL需要強い」平田機工社長

――主力の半導体や自動車向け装置の昨年の需要はどうでしたか。

「大変厳しい年だった。米中貿易摩擦の影響が色濃く出ていたのかな。電気自動車の設備投資は活発だ。中国メーカーの台頭がめざましい。潤沢な資金で欧米の優良企業を技術者ごと買収し、世界が注目する車をつくっている。米国との関係が悪化しても、中国企業は生き延びる力が強い。中国を年に数回訪れるが、自動運転でもドローン（小型無人機）でもスマートフォンを使ったサービスでも日本よりはるか先をいっている」

――次世代通信規格「5G」が商用化されます。

「多くの人が描く5Gはすぐには実現できないと感じている。データ通信量が増える一方、電波が届く距離が短く障害物の影響も受けやすい。アンテナを数十メートルおきに設置できればよいが……」

新菱冷熱、半導体・液晶工場向けエアワッシャー 電解水で汚染除去

新菱冷熱工業（東京都新宿区）は、電解水を利用する新型の工場向けエアワッシャーシステムを開発した。クリーンルーム用外調機に搭載する装置で、空気中の汚染物質を水で除去する。特に硫酸イオンなど酸性ガスの除去に高い効果を発揮。国内外で半導体工場や液晶工場向けに提案する。同システムや関連施設を含め今後３年間で１００億円の売り上げを目指す。

新菱冷熱工業が開発したシステムは、汚染物質を除去するための吸収液に電解水を用い、プリーツ型気液接触材で空気と電解水の接触効率を向上させる。さらに外気中の酸性ガス濃度の変動を検知し、最適な電解水量を供給する制御機構も搭載。汚染物質除去率は、硫酸イオンが９９％、アンモニアイオンは９６％、酢酸が９２％などとなっている。

折り畳みスマホを実現するニッポンのガラス加工装置

三星ダイヤモンド工業（大阪府摂津市）は、折り畳み可能なフォルダブルスマートフォン向けに適した超薄板ガラス加工装置を開発した。切断加工時に生じる微細なひび割れを極限まで減らすことで、ガラスの曲げ強度を高水準に維持できる。現在のフォルダブルスマホはフィルム基板が一般的だが、同技術を生かせばガラス基板の採用も見込める。中国や韓国のディスプレーメーカーなどに提案し、2020年度に売上高8億円を目指す。

新構造の加工用カッター「ソリッド―D」を開発し、装置を実現した。厚さ約50マイクロメートル（マイクロは100万分の1）の超薄板ガラスでも、切断加工後の曲げ強度を1ギガパスカル（ギガは10億）程度に維持できる。

Despite ever-increasing foreign competition, Japanese flat panel display equipment makers retain global leadership

Japanese suppliers accounted for more than 50 percent of global FPD equipment revenue over the three year period of 2017 through 2019, according to IHS Markit | Technology, now a part of Informa Tech. In comparison, South Korean firms held about a 25 percent share, while suppliers from the United States and other regions accounted for the remaining revenue.

Japan has managed to maintain its leadership in critical equipment used to make FPDs, despite the fact that the country is no longer a major player in the production of displays. Japan in 2019 accounted for just 5 percent of global FPD capacity, down from 22 percent in 2004.

マルマエは上値試す、20年8月期増収増益予想で10月の受注残高は前年比プラス転換

マルマエ(東1)は、半導体・FPD製造装置向け真空部品などの精密切削加工事業を展開している。20年8月期は増収増益予想(下期偏重)である。受注残高は19年2月をボトムとして回復傾向だ。19年10月には前年同月比でプラスに転じた。株価は10月の年初来高値圏から一旦反落したが着実に下値を切り上げている。上値を試す展開を期待したい。

　半導体・FPD(フラットパネルディスプレー)製造装置に使用される真空部品や電極などの精密切削加工事業を展開している。

　パイオニアプラズマディスプレイ鹿児島工場の一部を取得し、18年4月出水事業所として稼働、電子ビーム溶接(EBW)関連の生産も開始した。19年2月には本社を出水事業所内に移転し、本社機能の充実や業務の効率化を推進している。

東京エレク、解像度200ppiの有機ＥＬ製造装置

東京エレクトロンは、２００ｐｐｉを超える有機ＥＬディスプレー解像度に対応した開発ライン向けインクジェット描画装置「エリウス５００プロ＝写真」を発売した。最大３７０ミリ×４７０ミリメートルの第２世代（Ｇ２）基板に対応。８Ｋテレビや６５インチテレビ、ノートパソコンのディスプレーなどの開発部門での採用を見込む。価格は個別見積もり。

従来機種「エリウス１０００」の２倍となる、最大１２種類のインク材料を同時に搭載できる。有機発光層の成膜時に、ＲＧＢ３色の発光材料を同時かつ必要量のみを画素内へ描画する。

液晶パネル欠陥、自動修正 片岡製作所がＡＩ活用リペア装置

片岡製作所（京都市）は、人工知能（ＡＩ）で液晶パネルの欠陥を判定し、的確に自動修正するレーザーリペア装置「液晶パネルＡＩ自動リペア装置」を開発した。月内に受注を始める。人手に頼っているリペア工程を自動化し、熟練作業者不足を補う。標準価格は７５００万円、液晶メーカー向けに年間２０台の販売を見込む。

液晶パネルの画像データを基に、欠陥箇所、異物混入や膜残りなど欠陥の原因、レーザーで切る、つなぐなど原因に応じたリペア手法の選択という一連の作業をＡＩが判定して的確に修正する。

能美に「印刷方式」生産ライン ＪＯＬＥＤ

石川県内に有機ＥＬパネルの開発・製造拠点を持つＪＯＬＥＤ（ジェイオーレッド、東京）は２８日までに、能美事業所（能美市）に世界初の「印刷方式」による生産ラインを構築した。試作に着手し、年内に顧客へサンプルの提供を目指す。２０２０年にモニター向けパネルの量産を開始し、続いて車載ディスプレー向けパネルの製造を始める計画である。

　ジェイオーレッドは、経営再建中の中小型液晶パネル大手ジャパンディスプレイ（ＪＤＩ）から能美工場を取得し、１８年７月に能美事業所を開設した。「印刷方式」の有機ＥＬパネルの量産では、同事業所で半製品を生産し、千葉事業所（千葉県茂原市）で完成品に仕上げる。

エプソン、インクジェットの研究拠点 10月から稼働

セイコーエプソンは26日、富士見事業所（長野県富士見町）でオープンイノベーションによるインクジェット技術の研究拠点を10月に本格稼働させると発表した。研究機関や他社と連携し、インクジェット技術がすでに使われている紙や衣料品以外の新規分野へ展開をめざす。

拠点名は「インクジェット　イノベーションラボ富士見」。富士見事業所の1フロアにあり、5人程度の技術者を配置する。広さは225平方メートル。

ダイフクの今期、増収も減益 半導体・液晶悪化響く

ダイフクの２０２０年３月期連結業績予想は、売上高が前期比４・５％増の４８００億円と過去最高を見込む。運輸・倉庫関係を中心に豊富な受注残が寄与する。

利益は営業、経常、当期利益とも減益を予想。半導体・液晶業界の失速による環境悪化が響く。受注量増加に対応して国内、海外の双方で生産能力を増強する。

2019年以降の半導体/FPD製造装置市場はどうなる？ - SEAJが需要予測を公開

2018年度の日本製半導体製造装置は前年度比11.1%増の2兆2696億円、FPD製造装置は同9.8%増の5400億円となる見通しで、両者の合算値は同10.8%増の2兆8096億円となるとしている。

また、2019年度は半導体製造装置において、上半期に投資のけん引役であったメモリへの投資が慎重になるとの見方が示されており同0.5%増の2兆2810億円にとどまるとするほか、FPD製造装置についても、2018年の反動や、第6世代(G6)基板の有機EL向け投資が進まないこともあり、同16.7%減の4500億円と予測。そして2020年度は、半導体、FPDともに投資が復活するとして、半導体製造装置が同7.0%増の2兆4407億円、FPD製造装置が同6.7%増の4800億円と予測している。

2019年ディスプレイ市場のカギ握る「ライン転換」

調査会社の英IHS Markitが2018年7月に発表した試算では、液晶パネルメーカーが現在の計画のまま工場の新増設を続けると、液晶ディスプレイの需給ギャップは18年の12％から21年には23％に拡大してしまい、大幅な供給過剰に陥るとみられている。すでに量産稼働し、段階的に生産を増やしている中国BOEに続き、19年初頭には中国CSOTも10.5世代（2940×3370mm）マザーガラスを用いた液晶パネル新工場を稼働させると見込まれ、需要の伸びを大きく上回る供給能力が上積みされるためだ。

　こうした供給過剰を回避する方法は、液晶パネルメーカーが工場稼働率を大きく落として生産調整を実施するか、あるいは、古くなった液晶工場を閉鎖して生産能力を削減するかのどちらかしか選択肢はない。だが、前者の可能性は低い。シェア拡大を目指す中国メーカーが稼働率を下げるとは思えず、AUOをはじめとする台湾パネルメーカーもいまだ90％以上の高い稼働率を維持したままだ。

ＳＣＲＥＥＮ、彦根で液晶パネル製造装置量産 新工場棟稼働

ＳＣＲＥＥＮホールディングスは彦根事業所（滋賀県彦根市）で、大型液晶パネル製造装置の生産などに対応した新工場棟を稼働した。需要が増える大型装置の増産などが目的。同事業所の液晶パネル製造装置などの組み立てスペースは約８割増床した。生産性向上の取り組みも含めて、同装置の生産能力は２倍に高まるという。投資額は約２０億円。

片岡製作所がＡＩで液晶修復装置 平成３１年に市場投入

レーザー加工機メーカー、片岡製作所（京都市南区）は、液晶の生産工程で生じる不具合を人工知能（ＡＩ）を駆使して修復する装置を開発、平成３１年に市場投入することを明らかにした。３２（２０２０）年の株式上場を目指しており、新製品投入で弾みを付ける。片岡宏二社長に新製品への思いや今後の目標などを聞いた。

　－－装置開発のきっかけは

　「ｉＰＳ細胞（人工多能性幹細胞）の培養時に不要な細胞を除去する装置を作っており、その応用だ。液晶は、生産工程でのごみ混入などにより一部の画素が消灯できない不具合が発生する。これまでは人の目で診断していたが、新製品は液晶の状態をＡＩで読み取り短時間でレーザーで修復する」

東エレク、有機ＥＬディスプレー製造装置 インクジェット式採用

東京エレクトロンは、インクジェット方式を採用した有機ＥＬディスプレー製造装置「Ｅｌｉｕｓ（エリウス）１０００＝写真」を発売した。

ディスプレーの光る膜を作る際、ＲＧＢ（赤、緑、青）３色の発光材料を同時に必要な量だけ画素内へ描画できる。蒸着方式を使う従来機に比べて生産性を向上した。

サムスン半導体工場で炭酸ガス漏れ、3人死傷

4日午後1時55分ごろ、京畿道竜仁市にあるサムスン電子の半導体工場（器興事業場）で二酸化炭素（炭酸ガス）が漏出し、協力会社の社員1人が死亡、2人が意識不明となっている。

　事故があったのは器興事業場地下1階にある火災鎮火設備の炭酸ガス密集エリアで、協力会社の社員3人が倒れた。サムスン電子の自社消防隊が出動し、3人を病院に搬送したが、1人が死亡、2人は意識が戻っていない。

平田機工・平田雄一郎社長 有機ＥＬパネルに注力

工場の生産ラインや産業用ロボットの製造などを手掛ける平田機工（熊本市）の平田雄一郎社長が毎日新聞のインタビューに応じた。

自動車や半導体分野の旺盛な需要などに支えられて好調な業績が続く中、今後も独自の技術力を生かし、有機ＥＬパネルや電気自動車（ＥＶ）の分野に注力していく考えを示した。

　－－２０１８年３月期は売上高が９４１億円で、５年前の約２・５倍に拡大しました。 　

◆排ガス規制の強化で今後市場拡大が見込まれるＥＶや、スマートフォンなどへの採用で生産量の伸びが期待される有機ＥＬの分野に先行して注力してきたことが大きかった。特に有機ＥＬの基板で薄膜を均一に張る「真空蒸着装置」は他社がまねできない技術で利幅も大きい。両分野は今後も注力していく。

半導体・ＦＰＤ製造装置、20年に初の３兆円超 ＳＥＡＪ予測

日本半導体製造装置協会（ＳＥＡＪ）は５日、２０２０年の日本製半導体・フラットパネルディスプレー（ＦＰＤ）製造装置販売額が１７年比１９％増の計３兆１７９億円になるとの予測を発表した。

データセンターや自動運転、ＩｏＴ（モノのインターネット）の市場成長に伴う、メモリーやセンサーを中心とした設備投資が受注をけん引する見通し。販売額が３兆円を超えるのは初となる。

受動部品不足、受託生産断絶の危機

抵抗器、コンデンサーといった受動部品は、スマートフォン１台、ノートパソコン１台当たり600～1,200個が使用される。コスト面では部品全体に占める割合は２％以下にすぎないが、１個欠けても生産に支障が出る。

　受動部品は2010年の値上げによって市場が長期低迷した結果、多くのメーカーが生産を抑制。16年にはＴＤＫが汎用の積層セラミックコンデンサー（ＭＬＣＣ）から撤退した。 　こうした中、17年前後より携帯電話の第３世代移動通信（３Ｇ）から４Ｇへの移行、カーエレクトロニクスの高度化、仮想通貨の採掘（マイニング）装置、モノのインターネット（ＩｏＴ）など新たな分野が盛り上がりを見せたことで受動部品の需要が一挙に拡大。

村田製作所や京セラなどの大手が、コスト要因から一部の汎用製品の減産、生産停止を決めたこともあり、供給逼迫（ひっぱく）と価格高騰が進んだ。台湾最大手の国巨（ヤゲオ）は昨年より、断続的に製品の値上げを行っている。

ニコン：FPD露光装置「FX-103S」「FX-103SH」を発売

ニコンは、FPD露光装置の新製品「FX-103S」「FX-103SH」の2モデルを発売した。「FX-103S」「FX-103SH」は第10.5世代のプレートサイズに対応し、4Kテレビや今後普及が期待される8Kテレビ、高精細タブレットの液晶パネル、有機ELパネルなどの量産に最適な装置。
本製品は、2018年3月期3Qから販売している。

 ■開発の背景
中小型高精細パネルの生産に適した、第6世代プレートサイズ対応露光装置「FX-67S2」と、テレビ用パネルの生産に適した、第8世代プレートサイズ対応露光装置「FX-86SH2」の技術を融合し、高精細大型パネルの生産に最適な露光装置を開発した。
「FX-103S」は、生産性の向上に注目し、従来の第10世代プレートサイズ対応露光装置「FX-101S」に比べて高タクトタイムを達成。また、さらに高解像機能を有する「FX-103SH」も加え、顧客のニーズに合わせて装置を選べる。

ブイ・テクノロジー、山形県米沢市に有機EL用マスク生産工場

ブイ・テクノロジーが山形県米沢市に進出する。6日、杉本重人社長が吉村美栄子山形県知事らと県庁で記者会見し発表した。スマートフォン（スマホ）に使われる有機EL生産に必要な次世代蒸着マスクなどを量産する。
またVテクが有機EL照明のルミオテック（山形県米沢市）を4月に三菱重工業から譲り受けて子会社化することも発表した。
 Vテクは、1997年創業のフラット・パネル・ディスプレー（FPD）製造装置メーカー。2017年12月に設立した子会社のブイ・イー・ティー（VET）が米沢に進出する。

今年度の半導体・ＦＰＤ装置、販売高過去最高に−ＳＥＡＪ見通し

日本半導体製造装置協会（ＳＥＡＪ）は、半導体製造装置とフラット・パネル・ディスプレー（ＦＰＤ）製造装置の２０１７年度販売高が、前年度比２１・９％増の２兆４９９６億円と、過去最高となる見通しをまとめた。これまでの統計では、０６年度の２兆３２０６億円が最高だった。

 ＩｏＴ（モノのインターネット）などの普及で半導体需要が拡大し、半導体製造装置の販売が大きく伸びた。またスマートフォンに有機エレクトロ・ルミネッセンス（ＥＬ）ディスプレーを採用する動きが活発化したことなどが、ＦＰＤ製造装置の販売に寄与したとみられる。

薄膜トランジスタアレイの検査技術を大幅に高速・大面積化

・薄膜トランジスタ（TFT）アレイの駆動状態を光学イメージ化して非破壊で一括検査する技術を大幅に改良
・ディスプレーなど情報出力機器のTFTとストレージキャパシター 30,000素子を3分以内に一括検査
・印刷法で製造した大面積デバイスのインライン検査を可能にし、高品質化に貢献

国立研究開発法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】（以下「産総研」という）フレキシブルエレクトロニクス研究センター【研究センター長 鎌田 俊英】 フレキシブル材料基盤チーム 堤 潤也 主任研究員、同研究センター 長谷川 達生 総括研究主幹らは、産総研が独自に開発した薄膜トランジスタ（TFT）アレイ一括検査技術の測定感度と検査面積を大幅に向上させるとともに、本技術を応用したストレージキャパシターの検査を可能にした。

熱圧着プロセスを10分の1に短縮、新しい実装技術

日立化成は、東京ビッグサイトで開催した「SEMICON Japan 2017」（2017年12月13～15日）で、TCB（Thermal Compression Bonding：熱圧着）プロセスにかかる時間を短縮する実装技術を提案した。

　現状のTCBプロセスは、位置合わせ、熱圧着、冷却というステップで行われているが、チップを1個ずつ圧着している上に、処理時間が長いので、全体としてかなり時間がかかる工程になっている。日立化成によれば、処理時間の平均は1チップ当たり約20秒だという。

有機ＥＬ市場を積極開拓 ＮＩＳＳＨＡなど京都のメーカー

次世代ディスプレーの有機ＥＬがスマートフォンなどに普及する中、写真製版や印刷をルーツとする京都のメーカーが商機を見いだしている。
ＮＩＳＳＨＡ（旧日本写真印刷）は有機ＥＬを搭載したスマホ向けに操作用のタッチセンサーを販売し、エスケーエレクトロニクスやＳＣＲＥＥＮホールディングス（旧大日本スクリーン製造）は有機ＥＬの製造工程で使う装置を供給。
高い精度の製造技術を強みに新たな市場で地歩を築いている。

果敢なる海外への挑戦で成長力を高めた「世界のHIRATA」

　生産システムおよび産業用ロボットの製造・販売を手がけ、「世界の工場をつくる工場」と呼ばれる平田機工（株）。同社は、中興の祖である2代目社長・平田耕也（やすなり）氏のもと、松下電器産業やアメリカのGMといった一流企業を相手に積極果敢に営業を仕掛け、受注を勝ち取っていく。 より高いハードルへの挑戦は技術力の向上にもつながり、世界で最も品質に厳しいトヨタから、その重要な生産ラインを任されるまでの企業になった。あえて厳しい環境に身を置くことで、成長力を高めたといえるだろう。

東京エレクトロン、高精細FPD向けドライエッチング装置投入

東京エレクトロンは、ガスやプラズマを使って薄膜を加工するフラット・パネル・ディスプレー（FPD）製造装置「ベテレックス1800PICP＝イメージ」の受注を始めた。薄膜を加工する「プロセスチャンバー」を、従来機種に比べて2基多い5基まで搭載できる。
　プロセスチャンバーは、パネル基板上に高密度のプラズマを均一に生成する。搭載できるプロセスチャンバーが増えると、生産性を向上できるほか、設置面積の縮小や設備費用の抑制につながる。

ＳＣＲＥＥＮ 歩留まり悪化を防止 有機ＥＬパネル用の塗布現像装置２種

ＳＣＲＥＥＮホールディングスは１５日、第６世代基板に対応した有機エレクトロ・ルミネッセンス（ＥＬ）パネル製造用の塗布現像装置２機種を発売したと発表した。微小なゴミの混入による歩留まり悪化を防止する機能を付けた。

 ２機種は縦横の大きさが１５００ミリ×１８５０ミリメートルの同基板に対応する。有機ＥＬバックプレーン（駆動回路）製造工程用の「ＳＫ―Ｅ１５００Ｇ」は、基板搬送工程の搬送口の仕切りを工夫し、微小なゴミの混入を防ぐ。これにより薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を作り込んだ基板の歩留まりを向上させる。

韓国・ＡＰシステムズ、中国パネル大手から受注

ＡＰシステムズ（韓国の有機ＥＬ製造装置メーカー）　中国パネル大手の華星光電（ＣＳＯＴ）の関連会社から6030万ドル（約67億円）で受注した。中国では京東方科技集団（ＢＯＥ）系からも受注している。

パネル業界では液晶ディスプレーから有機ＥＬへの構造転換が起きており、ＡＰシステムズは主要顧客の韓国サムスン電子に加えて中国の顧客からの受注も増えている。

　アナリストの一人は、他社にとって高い参入障壁や高い有機ＥＬの事業比率、顧客の幅広さなどを理由に、ＡＰシステムズが受注首位を維持するとの見方を示した。

アルバック 有機ＥＬ用製造装置を強化

アルバックは、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）用製造装置を強化する。量産用クラスター・インライン成膜装置では、現状のＧ８・５（５・２平方メートル）向けは日本、韓国、台湾、中国の各拠点を連携し、世界供給体制を構築する。Ｇ１０・５（同９・９）向けも製品化・受注済みで、国内工場での製造、納品準備を進める。